Inaugural Dissertation - Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg

4.2. Physikalisch technische Herausforderungen
4.2. Physikalisch technische Herausforderungen
Reflexionsbeschichtung der 4Pi-Deckgläser
Wie bereits in Kapitel 2.4.2 erwähnt wurden während meiner Doktorarbeit die Glycerin-Objektive am
4Pi-Mikroskop durch Ölobjektive ersetzt. Dieser Wechsel wurde durchgeführt, um zum einen 4Pi-
Mikroskopie mit 1-Photonenanregung zu ermöglichen und zum anderen, um den Einsatz von teuren
Quarzgläsern zu ersparen. Der Umbau wurde zwar von der Firma Leica unterstützt, allerdings bieten
sie keine für die 4Pi-Mikroskopie erforderlichen Deckgläser mit Reflexionsbeschichtung aus BK7-Glas
an. Aus diesem Grund wurden runde Standarddeckgläser (∅ 30mm, # 1, Resolab 1 ) in Kooperation
mit den Angestellten des institutsinternen Reinraums selbst mit einer Reflexionsbeschichtung versehen.
Um mehrere Deckgläser gleichzeitig beschichten zu können, wurde in Zusammenarbeit mit der mechanischen
Werkstatt des Instituts eine spezielle Halterung der Deckgläser für die Bespatterungsanlage
angefertigt. Die Form der Halterung verhindert, dass die gesamte Fläche der Deckgläser beschichtet
wird. Eine CAD-Skizze der Baugruppe ist in Abbildung 4.2.1 (a) dargestellt. Die Reflexionsbeschichtung
besteht aus einer 30nm dicken Titanschicht als Verbindung für eine 300nm Goldschicht. Die Maske
ist so konstruiert, dass ein Vollkreis von 11mm Durchmesser tangential am Deckglasrand beschichtet
wird (Abb.4.2.1 (b)). Damit ist gewährleistet, dass man die Position der Reflexionsschicht mit den Objektiven
erreicht, ohne einen zu großen Flächenanteil des Deckglases für die eigentliche 4Pi-Messung zu
verlieren.
(a)
(b)
Abbildung 4.2.1.: (a) CAD-Modell der in Zusammenarbeit mit der mechanischen Werkstatt und des
Reinraums entwickelten Baugruppe zur Besputterung der 4Pi-Deckgläser. (b) Foto eines mit der zur
Justage erforderlichen Reflektionsschicht versehenen Deckglases im 4Pi-Halter.
1 Bad Oeynhausen, http://www.resolab.de
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