pdf, 4.2 Mb - Walther Meißner Institut - Bayerische Akademie der ...

3 ProbenherstellungFür die Herstellung der La xSr 2−xCrWO 6-Schichten wurde eine Atmosphäre aus Argonoder aus Argon mit Sauerstoff bei einem Druck von p Ar ≈ 2,9·10 −4 Torr ≈ 39 mPabzw. p Ar+1 %O2 ≈ 5,3 · 10 −4 Torr ≈ 71 mPa gewählt, was sich bei einem Fluss von 5,0Skalenteilen ergibt. Beim Wachstum von NdGaO 3-Schichten wurde eine Atmosphäreaus molekularem Sauerstoff bei einem in der Prozesskammer deutlich gesteigertenDruck von p O2≈ 7,9 · 10 −2 Torr ≈ 9,3 Pa eingestellt als Resultat eines Flusses von20,0 Skalenteilen und einer Druckvorgabe von p = 0,160 mbar = 16 Pa am Bypass. Dieunterschiedlichen Drücke kommen von unterschiedlichen Kalibrierungen der Druckmessgeräteund von ihren verschiedenen Positionen, darüber hinaus ist der angezeigteDruck auch abhängig vom verwendeten Gas. Da es bei der Druckmessung aber mehrum die Reproduzierbarkeit der Wachstumsbedingungen als um Absolutbestimmungender verwendeten Drücke geht, ist der Unterschied nicht weiter von Bedeutung.Die Parameter des Filmwachstums sind im Einzelnen in Tabelle 3.2 zusammengefasst.Ergänzend sei dazu angemerkt, dass die Proben S01 und S02 mit undotiertenSr 2CrWO 6-Targets und nur zur Übung angefertigt wurden und deshalb nicht inder Liste aufgeführt sind. Bei der Probe S21 wurde NdGaO 3mit einer Frequenzf Puls = 1 Hz statt der üblichen 8 Hz ablatiert. Außerdem bestehen die Proben S23bis S25 und S27 bis S29 nur aus NdGaO 3auf SrTiO 3; sie dienten zur Untersuchungder NdGaO 3-Zwischenschicht. Wenn eine Zwischenschicht aus NdGaO 3abgeschiedenwurde, so ging die Deposition stets über einhundert Pulse.32