pdf, 4.2 Mb - Walther Meißner Institut - Bayerische Akademie der ...

4 Messungenaus der Röntgen-Diffraktometrie gewonnen, sie war also während des Wachstumsnicht bekannt. Der Fehler, den man macht, wenn für die Monolagendicke der Wert0,791 6 nm von undotiertem Sr 2CrWO 6eingesetzt wird, ist jedoch gering mit maximal2,1 % für x = 1,0.Die möglichen Diskrepanzen der aus RHEED und Reflektometrie bestimmten Schichtdickenresultieren aus den Ungenauigkeiten der beiden Verfahren. Diese Ungenauigkeitbesteht bei der Auswertung der RHEED-Aufzeichnungen darin, dass es beim Wachstumvon La xSr 2−xCrWO 6auf SrTiO 3oft erforderlich ist, die Oszillationen auf Bereichezu extrapolieren, in denen tatsächlich keine Oszillationen beobachtbar oder quantitativauszuwerten waren. Die Ausprägung der Oszillationen bei der Reflektometrieist für deren Verwertbarkeit von entscheidender Bedeutung. Liegt die Dicke einesLa xSr 2−xCrWO 6-Films nahe oder über 50 nm, so sind die Oszillationen zu schwachfür eine zuverlässige Schichtdickenbestimmung.4.2.4 SchlussfolgerungenDie mit Röntgenanalyse durchgeführten Messungen zeigen, dass mit gepulster LaserdepositionLa xSr 2−xCrWO 6-Schichten hoher kristalliner Qualität hergestellt wurden.Die mittleren Halbwertsbreiten FWHM der Rockingkurven sind in Abbildung 4.16gegen die Lanthan-Dotierung x von La xSr 2−xCrWO 6aufgetragen. Es ist zu erkennen,Halbwertsbreite FWHM0,048°0,046°0,044°0,042°0,040°0,038°0,036°0,034°0,032°0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 1,2 1,4 1,6 1,8 2,0Lanthan-Dotierung xAbbildung 4.16: Rockingkurvenhalbwertsbreiten der (004)-La x Sr 2−x CrWO 6 -Peaksdass für x ∈ [0,3; 1,5] die mittlere Halbwertsbreite ansteigt, mit einer Abweichungbei x = 0,5. Die Messungen der Halbwertsbreiten für x ∈ [1,5; 2,0] sind nicht so54