YMF18 özet kitapçığı - Department of Physics

18. Yoğun Madde Fiziği – Ankara Toplantısı, Orta Doğu Teknik Üniversitesi, 25 Kasım 2011P68Au/TiO 2 /nSi/Au yapıların parametrelerinin incelenmesiM. Sel ve M. ÖzerGazi Üniversitesi, Fen Fakültesi, Fizik Bölümü, Teknikokullar, 06500, AnkaraMetal–yarıiletken (MS) kontakların son yıllarda elektronik ve optoelektronik sanayindeoldukça fazla miktarda kullanılır hale gelmesi araĢtırıcıları bu yapıları farklı yarıiletkenler vemateryallerle oluĢturulmaya ve parametreleri kararlı, tekrarlanabilir, performansı daha iyiyapılar olması yönünde araĢtırmalar yapmaya yöneltmiĢtir. MS yapıları hazırlama yöntemlerive Ģartları genellikle arayüzey durumlarının oluĢmasına sebep olmakta bunlar da elektroniközellikleri ve parametreleri önemli ölçüde etkilemektdir. Burada sunulan çalıĢmada, nSiyarıiletkenin mat yüzeyinde Au ile omik kontak ve parlak yüzeyi üzerinde ise önce püskürtmemetodu ile TiO 2 ince film ve onun üzerinde ise vakumda metal buharlaĢtırma metoduyla Aukullanılarak Schottky engeli oluĢturuldu. Akım–gerilim (I–V) ve sığa–gerilim (C–V)ölçümlerinden elde edilen verilerle yapılan hesaplardan yapının parametreleri belirlendi.Teşekkür: Bu çalıĢmayı destekleyen Gazi Üniversitesi Bilimsel AraĢtırma Projeleri (BAP 05/2011-39) venumuneleri hazırlayan Gazi Üniversitesi Yarıiletken Teknolojileri Ġleri AraĢtırma Labratuvarı Grubuna teĢekkürederiz.100