reverse-engineering von logik-gattern in integrierten ... - Degate

5.1. MIKROSKOPIERUNG
Objektiv geeignet sein. Umso stärker die Objektivvergrößerung ist, desto kleiner ist
der Arbeitsabstand zwischen Objektiv und Objekt.
Abbildung 5.2: Bildausschnitt des Transistor-Layers eines Schaltkreises vom Typ Mifare Classic
Die Bilder werden mittels Auflichtmikroskopie gewonnen. Eine externe Lichtquelle
beleuchtet die Chipoberfläche. Die Lichtstrahlen reflektieren in das Objektiv. Das Ob-
jektiv darf nicht zu nahe am Objekt sein, anderenfalls reflektiert nicht genug Licht.
Für die Auflichtmikroskopie werden deshalb spezielle Objektive verkauft, die mit Be-
leuchtungsmöglichkeiten ausgestattet sind.
Das Mikroskop sollte mit einem XY-Tisch ausgestattet sein. Damit lässt sich die Probe
einspannen und verfahren, ohne dass sie sich versehentlich verdreht. Wenn die Bilder
mit verschiedenen Drehwinkeln aufgenommen werden, muss das vor dem Zusammen-
setzen der Bilddaten (manuell) korrigiert werden. Der Fachhandel bietet Mikroskope
mit motorgetriebenen XY-Tischen an. Diese sind im Gesamtpaket mit mehreren tau-
send Euro jedoch teuer. Die besseren XY-Tische lassen sich drehen. Dadurch kann man
die Probe bereits so auf dem Tisch orientieren, dass das Raster auf dem Chip parallel
bzw. senkrecht zu den Bildrändern verläuft.
Ein Kameramodul mit zwei oder mehr Megapixeln ist erforderlich. Wenn man keine
Mikroskopkamera hat, kann man diese ab etwa 200 Euro erwerben. In diesem Zusam-
menhang ist wichtig, dass sich die optische Gesamtvergrößerung multiplikativ aus der
Martin Schobert 16