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Anhang B.2 Engineering Physics Modulhandbuch Master of Science

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<strong>Anhang</strong> B2 <strong>Modulhandbuch</strong> M.Sc.<br />

Ingenieurwissenschaften<br />

München Wien, 2001<br />

- Ehrfeld, W. (Hrsg.): Handbuch Mikrotechnik, Hanser,<br />

München Wien, 2000<br />

- Elbel, Th.: Mikrosensorik, Vieweg, Wiesbaden, 1996<br />

- Fukuda, T. and Menz, W. (Eds.): Micro Mechanical Systems,<br />

Elsevier, Amsterdam, 1998<br />

- Gardner, J.W.: Microsensors, Wiley, Chichester, 1994<br />

- Gerlach, G. und Dötzel, W.: Grundlagen der<br />

Mikrosystemtechnik, Hanser, München Wien, 1997<br />

- Krause, W.: Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik,<br />

Hanser, 1995<br />

- Mescheder, U.: Mikrosystemtechnik, Teubner, Stuttgart<br />

Leipzig, 2000<br />

- Tränkler, H.-R. und Obermeier, E. (Hrsg.): Sensortechnik,<br />

Springer, Berlin Heidelberg, 1998<br />

- Völklein, F. und Zetterer, Th.: Einführung in die<br />

Mikrosystemtechnik, Vieweg, Wiesbaden, 2000<br />

(c/P) = compulsory subject / Pflichtfach, (cos/WP) = compulsory optional subject / Wahlpflichtfach<br />

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