Anhang B.2 Engineering Physics Modulhandbuch Master of Science

Anhang B2 Modulhandbuch M.Sc.
Spezialisierung
Modulbezeichnung: Microsystem Technology (WP)
Bereich: Spezialisierung Biomedizinische Physik
Lehrveranstaltungen: Microsystem Technology
Studiensemester: Wintersemester
Modulverantwortliche(r): Lenz-Strauch
Dozent(in): Lenz-Strauch
Sprache: Deutsch, Englisch
Zuordnung zum Curriculum
Zuordnung zum Stoffkatalog
DGMP:
M.Sc. Engineering Physics
Lehrform/SWS: Vorlesung: 2 SWS
Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 28 Stunden
Selbststudium: 62 Stunden
Kreditpunkte: 3
Voraussetzungen nach
Keine
Prüfungsordnung
Empfohlene Voraussetzungen: Kenntnisse in Festkörperphysik (Aufbau und Struktur
verschiedener Materialien, Kristalle, Kunststoffe) und in der
Elektrochemie, galvanische Prozesse vorweisen könnten.
z. B. Vorkenntnisse
Angestrebte Lernergebnisse: Die Studierenden kennen die Technologien der
Mikrosystemtechnik. Sie sind in der Lage Mikrosysteme zu
beschreiben und sie verfügen über die Voraussetzungen einfache
Mikrosysteme zu entwerfen und aufzubauen. Sie kennen die
Einsatzgebiete für Mikrosysteme in der Medizin. Sie kennen
Beispiele für Mikrosysteme in der Medizin und können
Funktionsprinzipien, Aufbau und Fertigungstechniken
beschreiben.
Inhalt: Basistechnologien, Werkstoffe und Aufbau- und
Verbindungstechniken der Mikrosystemtechnik; Einsatz von
Mikrosystemen in der Medizin;
Studien-/Prüfungsleistungen: Hausarbeit, Referat, mündliche Prüfung
Medienformen: Tafel, Skript, Präsentation
Literatur: S. Büttgenbach: Mikrosystemtechnik, TeubnerW. , 1994
Menz, W. Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure, VCH,
W. Ehrfeld: Handbuch Mikrotechnik,
HanserP. Rai-Choudhury : Handbook of Microlithography,
Micromachining and Microfabrication, SPIE Optical
Engineering Press
(c/P) = compulsory subject / Pflichtfach, (cos/WP) = compulsory optional subject / Wahlpflichtfach
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