15.05.2013 Views

7. TESIS MASTER DIMM.pdf - RiuNet - Universidad Politécnica de ...

7. TESIS MASTER DIMM.pdf - RiuNet - Universidad Politécnica de ...

7. TESIS MASTER DIMM.pdf - RiuNet - Universidad Politécnica de ...

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

De cara a la elección <strong>de</strong> una <strong>de</strong> estas técnicas para la obtención <strong>de</strong> recubrimientos <strong>de</strong>ben<br />

<strong>de</strong> tenerse en cuenta una serie <strong>de</strong> criterios para una correcta selección. Éstos suelen ser:<br />

[26]<br />

Material que ha <strong>de</strong> ser <strong>de</strong>positado (composición, estructura, etc )<br />

Espesor, velocidad <strong>de</strong> <strong>de</strong>posición.<br />

Limitaciones impuestas por la temperatura <strong>de</strong> <strong>de</strong>posición.<br />

Adhesión <strong>de</strong>l <strong>de</strong>pósito al substrato.<br />

Homogeneidad <strong>de</strong> las capas (espesor, composición, etc.)<br />

Pureza <strong>de</strong> los materiales <strong>de</strong> partida.<br />

Complejidad y coste <strong>de</strong>l equipo.<br />

Disponibilidad y Problemas <strong>de</strong> seguridad en el manejo <strong>de</strong> las materias primas<br />

(técnicas <strong>de</strong> CVD).<br />

Eliminación <strong>de</strong> subproductos para evitar la contaminación.<br />

Las técnicas más utilizadas son las <strong>de</strong> fase vapor. Clasificadas en: [26]<br />

Técnicas físicas (PVD): Se parte <strong>de</strong> un material sólido que se preten<strong>de</strong> <strong>de</strong>positar<br />

para convertirlo en vapor mediante calentamiento (evaporación) o bombar<strong>de</strong>o con<br />

iones energéticos.<br />

Técnicas químicas (CVD): Se parte <strong>de</strong> directamente <strong>de</strong> los gases (a veces en forma líquida<br />

que pasan a estado vapor) los cuales mediante reacción dan un producto nuevo que se<br />

con<strong>de</strong>nsa en forma <strong>de</strong> película <strong>de</strong>lgada sobre el substrato.<br />

!

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!