7. TESIS MASTER DIMM.pdf - RiuNet - Universidad Politécnica de ...
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De cara a la elección <strong>de</strong> una <strong>de</strong> estas técnicas para la obtención <strong>de</strong> recubrimientos <strong>de</strong>ben<br />
<strong>de</strong> tenerse en cuenta una serie <strong>de</strong> criterios para una correcta selección. Éstos suelen ser:<br />
[26]<br />
Material que ha <strong>de</strong> ser <strong>de</strong>positado (composición, estructura, etc )<br />
Espesor, velocidad <strong>de</strong> <strong>de</strong>posición.<br />
Limitaciones impuestas por la temperatura <strong>de</strong> <strong>de</strong>posición.<br />
Adhesión <strong>de</strong>l <strong>de</strong>pósito al substrato.<br />
Homogeneidad <strong>de</strong> las capas (espesor, composición, etc.)<br />
Pureza <strong>de</strong> los materiales <strong>de</strong> partida.<br />
Complejidad y coste <strong>de</strong>l equipo.<br />
Disponibilidad y Problemas <strong>de</strong> seguridad en el manejo <strong>de</strong> las materias primas<br />
(técnicas <strong>de</strong> CVD).<br />
Eliminación <strong>de</strong> subproductos para evitar la contaminación.<br />
Las técnicas más utilizadas son las <strong>de</strong> fase vapor. Clasificadas en: [26]<br />
Técnicas físicas (PVD): Se parte <strong>de</strong> un material sólido que se preten<strong>de</strong> <strong>de</strong>positar<br />
para convertirlo en vapor mediante calentamiento (evaporación) o bombar<strong>de</strong>o con<br />
iones energéticos.<br />
Técnicas químicas (CVD): Se parte <strong>de</strong> directamente <strong>de</strong> los gases (a veces en forma líquida<br />
que pasan a estado vapor) los cuales mediante reacción dan un producto nuevo que se<br />
con<strong>de</strong>nsa en forma <strong>de</strong> película <strong>de</strong>lgada sobre el substrato.<br />
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