Portal CERES - [UDESC]
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I Congresso de Iniciação Científica e Pós-Graduação –Florianópolis (SC) –setembro 2010<br />
DEFORMAÇÃO ELÁSTICA EM FILMES FINOS – MODELAMENTO TEÓRICO E<br />
CARACTERIZAÇÃO ÓPTICA 1<br />
Deformação Elástica em filmes finos multicamadas<br />
Júlio Miranda Pureza 2 , Maicon Ricardo Nedel 3<br />
Palavras-chave: Filmes finos, Equação de Stoney.<br />
Estruturas sólidas compostas por camadas de materiais com propriedades térmicas e elásticas<br />
diferentes exibem geralmente tensões residuais intensas cuja importância é significativa para<br />
diferentes áreas do conhecimento e tecnologia, em especial para a nanotecnologia. Este trabalho<br />
propõe a construção de sistemas tridimensional para o modelamento das tensões em filmes em<br />
múltiplas camadas depositados sobre substratos planos. A abordagem utilizada é a de minimização de<br />
energia da amostra (substrato + filmes), considerada como uma casca de forma aproximadamente<br />
esférica com grande raio de curvatura. Os resultados obtidos mostram a validade da equação de Stoney<br />
e apresentam termos de correção.<br />
1 Projeto de Pesquisa - N o 1322/2009 – CCT-<strong>UDESC</strong><br />
2 Orientador, Professor do Departamento de Engenharia Mecânica CCT-<strong>UDESC</strong> – pureza@joinville.udesc.br.<br />
3 Acadêmico(a) do Curso de Física CCT-<strong>UDESC</strong>, bolsista de iniciação PROBIC/<strong>UDESC</strong>