PCT/1999/48 : PCT Gazette, Weekly Issue No. 48, 1999 - WIPO

48/1999
2 Dec/déc 1999 PCT Gazette - Section I - Gazette du PCT 14333
(54) • LAMP FOR GENERATING HIGH PO-
WER ULTRAVIOLET RADIATION
• LAMPE EMETTANT UN RAYONNE-
MENT ULTRAVIOLET DE GRANDE
PUISSANCE
(71) TRITON THALASSIC TECHNOLO-
GIES, INC. [US/US]; 241 Ethan Allen
Highway, Ridgefield, CT 06877 (US).
(72) MORGAN, Gary, L.; 5821 Bellanca Drive,
Elkridge, MD 21227 (US). POTTER,
James, M.; 2245 47th Street, Los Alamos,
NM 87544 (US).
(74) WOFSY, Scott, D.; Cummings & Lockwood,
107 Elm Street, P.O. Box 120,
Stamford, CT 06904 (US).
(81) CA JP NO; EP (AT BE CH CY DE DK ES
FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE).
(51) 6 H01L
(11) WO 99/62105 (13) A2
(21) PCT/US99/11824
(22) 27 May/mai 1999 (27.05.1999)
(25) en (26) en
(30) 09/086,365 28 May/mai 1998
(28.05.1998)
(30) Not furnished /
non communiqué
(30) Not furnished /
non communiqué
(30) Not furnished /
non communiqué
12 May/mai 1999
(12.05.1999)
12 May/mai 1999
(12.05.1999)
18 May/mai 1999
(18.05.1999)
(43) 2 Dec/déc 1999 (02.12.1999)
US
US
US
US
(54) • IMPROVED TRANSFORMER OPERA-
TIONS
• AMELIORATIONS APPORTEES
AU FONCTIONNEMENT D’UN
TRANSFORMATEUR
(71) ROMPOWER INC. [US/US]; Suite 414,
4400 E. Broadway, Tucson, AZ 85710 (US).
(72) JITARU, Ionel; Suite 414, 4400 E. Broadway,
Tucson, AZ 85710 (US).
(74) OGRAM, Mark, E.; 8040 S. Kolb Road,
Tucson, AZ 85706 (US).
(81) AU CA IL JP KR NO NZ RO; EP (AT BE
CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU
MC NL PT SE).
(51) 6 H01L 21/00
(11) WO 99/62106 (13) A2
(21) PCT/GB99/01606
(22) 20 May/mai 1999 (20.05.1999)
(25) en (26) en
(30) 9810950.7 22 May/mai 1998
(22.05.1998)
(30) 9813267.3 20 Jun/juin 1998
(20.06.1998)
(30) 9905230.0 9 Mar/mar 1999
(09.03.1999)
GB
GB
GB
(43) 2 Dec/déc 1999 (02.12.1999)
(54) • METHOD OF PRODUCING A STRUC-
TURED SURFACE
• PROCEDE DE PRODUCTION D’UNE
SURFACE STRUCTUREE
(71) THE UNIVERSITY OF BIRMINGHAM
[GB/GB]; Edgbaston, Birmingham B15 2TT
(GB).
(for all designated States except / pour tous
les États désignés sauf US)
(72, 75) PALMER, Richard, Edward [GB/GB];
"Dyffryn", Brake Lane, Hagley, Stourbridge,
West Midlands DY8 2XW (GB). SEEGER,
Katrin [DE/GB]; 16 Willow Mews, Selly
Oak, Birmingham B29 5JF (GB).
(74) PEARCE, Anthony, Richmond et al. / etc.;
Marks & Clerk, Alpha Tower, Suffolk Street
Queensway, Birmingham B1 1TT (GB).
(81) JP US; EP (AT BE CH CY DE DK ES FI
FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE).
(51) 6 H01L 21/00
(11) WO 99/62107 (13) A1
(21) PCT/US99/10194
(22) 10 May/mai 1999 (10.05.1999)
(25) en (26) en
(30) 09/085,553 27 May/mai 1998
(27.05.1998)
US
(43) 2 Dec/déc 1999 (02.12.1999)
(54) • BATCH END EFFECTOR FOR SE-
MICONDUCTOR WAFER HANDLING
• EFFECTEUR TERMINAL DE LOT
POUR LA MANIPULATION DE PLA-
QUETTES SEMI–CONDUCTRICES
(71) VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIP-
MENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35
Dory Road, Gloucester, MA 01930 (US).
(72) MUKA, Richard, S.; 32 Candelwood Drive,
Topsfield, MA 01983 (US).
(74) MCCLELLAN, William, R.; Wolf, Greenfield
& Sacks, P.C., 600 Atlantic Avenue,
Boston, MA 02210 (US).
(81) JP KR; EP (AT BE CH CY DE DK ES FI
FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE).
(51) 6 H01L 21/02
(11) WO 99/62108 (13) A2
(21) PCT/IB99/00835
(22) 10 May/mai 1999 (10.05.1999)
(25) en (26) en
(30) 98401232.8 22 May/mai 1998
(22.05.1998)
EP
(43) 2 Dec/déc 1999 (02.12.1999)
(54) • METHODS FOR FORMING SELF–
PLANARIZED DIELECTRIC LAYER
FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION
• PROCEDES DE REALISATION D’UNE
COUCHE DE DIELECTRIQUE AUTO–
APPLANISSANT POUR L’ISOLATION
DE TRANCHEES PEU PROFONDES
(71) APPLIED MATERIALS, INC. [US/US];
3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA
95054 (US).
(for all designated States except / pour tous
les États désignés sauf US)
(72, 75) GEIGER, Fabrice [FR/FR]; 29, avenue
de la Plaine Fleurie, F–38240 Meylan (FR).
GAILLARD, Frédéric [FR/FR]; Rue des
Tallifardières, F–38800 Voiron (FR).
(74) BERNADICOU, Michael, A. et al. / etc.;
Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP,
7th floor, 12400 Wilshire Boulevard, Los
Angeles, CA 90025 (US).
(81) JP KR SG US.
(51) 6 H01L 21/285, 29/78, 21/336
(11) WO 99/62109 (13) A1
(21) PCT/KR99/00260
(22) 26 May/mai 1999 (26.05.1999)
(25) en (26) en
(30) 1998/19299 27 May/mai 1998
(27.05.1998)
(43) 2 Dec/déc 1999 (02.12.1999)
KR
(54) • METHOD OF FORMING COBALT DI-
SILICIDE CONTACTS BY CHEMICAL
VAPOR DEPOSITION
• PROCEDE PERMETTANT DE FOR-
MER DES CONTACTS EN BISILI-
CIURE DE COBALT PAR DEPOT
CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
(71) GENITECH CO., LTD. [KR/KR]; 1694–5,
Shinil–dong, Taedeok–gu, Taejon 306–230
(KR).
(for all designated States except / pour tous
les États désignés sauf US)
(72, 75) AHN, Byung, Tae [KR/KR]; 101–1501,
Hanbit Apt., 99, Uheun–dong, Yusong–gu,
Taejon 305–333 (KR). RHEE, Hwa, Sung
[KR/KR]; 201 Dongil Villa, 1681–5, Bongchun
6–dong, Kwanak–gu, Seoul 151–056
(KR).
(74) HUH, Jin, Seok; J. S. HUH Patent Office,
206 Sungji Building, 1338–22, Seocho–dong,
Seocho–ku, Seoul 137–070 (KR).
(81) JP US; EP (AT BE CH CY DE DK ES FI
FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE).
(51) 6 H01L 21/306, 21/302
(11) WO 99/62110 (13) A1
(21) PCT/US99/11013
(22) 18 May/mai 1999 (18.05.1999)
(25) en (26) en
(30) 09/084,565 26 May/mai 1998
(26.05.1998)
(43) 2 Dec/déc 1999 (02.12.1999)
US
(54) • POST–ETCHING ALKALINE TREAT-
MENT PROCESS
• TRAITEMENT ALCALIN POST–
GRAVAGE