Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy 71 ÚvodNeustálou snahou člověka je poznání různých přírodních, fyzikálních, chemických adalších zákonitostí. Na základě získaných výsledků dochází ke zpřesňování a zkvalitňovánívýrobních technologií. Nejprudší vývoj probíhá za několik posledních desetiletí na polielektroniky, která dnes ovlivňuje všechny dalších vědních obory a pomáhá člověku svýmiprincipy, technologiemi a aplikacemi k dalšímu poznávání okolního světa. Ke zjišťováníinformací o stavu okolního světa byly stanoveny člověkem různé fyzikální a chemickéveličiny a jednotky (geometrických, mechanických, tepelných, chemických, biologických, proměření elektrostatických a magnetických polí, intenzit záření, atd.). Významné postavení přijejich získávání a dalším zpracování má senzorová technika. Vývoj senzorové technikyovlivňuje výrazným způsobem vývoj mikroelektronických technologiích.2 Zařazení předmětu ve studijním programuPředmět Mikrosenzory a mikromechanické systémy je zařazen v zimním i letnímsemestru třetího ročníku v bakalářském studijním programu do předmětů volitelných.Předmět vyžaduje základní znalosti z oblasti materiálů, elektronických součástek a jejichvýrobních technologií.2.1 Úvod do předmětu Mikrosenzory a mikromechanické systémyCílem kurzu je seznámit posluchače s teorií, principy a konstrukcí mikrosenzorů amikromechanických systémů. Hlavním úkolem kurzu je poskytnutí znalosti pro jejich návrh,optimální konstrukci, výběr technologií a postupů, a správné využití v praxi. Student by mělzískat přehled o možných technologických řešeních mikrosenzorů při využití hlavněmikroelektronických technologií a jejich úskalí při výrobě, případně vliv na parametrysenzorů.