Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

40 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v BrněSoučinitel deformační 130 -100 až -130 55 -100citlivosti při 20 ° CPracovní proud 20-40 10-20 10-25 5-35Pracovní rozsah±10 -3 ±5.10 -4 ±5.10 -4 ±5.10 -4poměrných deformacíRozměryDélka 4,4-12,7 5-7 10 3,5-10Tloušťka 0,017-0,4 0,1-0,4 0,15-0,5 0,15-0,4Šířka 0,05-0,5 0,05-0,8 0,7-2 0,2-2Měřící obvody využívající tenzometrické rezistory jsou často uspořádány jakoWheatstonův můstek. Příklady konstrukce jednoduchých senzorů uvádí Obrázek 5.6.Obrázek 5.6:Příklady konstrukcí polovodičových tenzometrůTenzometry se používají nejčastěji pro měření tlakové (tahové) síly, tlaku, momentukroucení, zrychlení atd.5.5 Odporové senzory teplotyOdporové senzory teploty pracují na principu výměny tepla. Senzor ovlivňují různédruhy přenosu tepla, přičemž jeden je funkční a ostatní působí jako parazitní. Odvod nebopřívod tepla může být proveden prouděním, vedením nebo zářením. U odporových senzorůteploty je obecný požadavek na použitý materiál, u kterého je vyžadován velký a stálý teplotnísoučinitel odporu. Používají se senzory kovové nebo polovodičové.5.5.1 Odporové kovové senzory teplotyU odporových kovových senzorů teploty se měří vlastní odpor kovu tvořící odporovýčlánek. Požadavky na použitý materiál jsou malá změna teplotního součinitele odporu sčasem, malá hystereze a kovy nesmí reagovat s izolačním nebo ochranným materiálemteploměru. Pro realizaci článku se využívají nejčastěji z čistých kovů platina, nikl, měď,stříbro a zlato a ze slitin stříbro-zlato a platina-iridium. Platina je výhodná pro chemickoustálost, vysokou teplotu tavení a možnost dosažení vysoké čistoty. Proto je platina využitájako etalonový teploměr od – 259.34°C do 630.74°C. Nikl se využívá v rozsahu teplot od- 60°C do 150°C, stříbro lze použít do 200°C, zlato do 400°C a slitina stříbro-zlato do 120°C.Měřící odporový článek se bez planární technologie konstruuje v plochém nebo válcovémprovedení s bifilárním vinutím drátku. Průměr drátku je přibližně 0.04 mm. Jako podložka sepoužívá tvrzený papír, sklo, slída nebo keramika. Při měření se využívá často bezproudového