Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

66 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v BrněKombinace pastAgPd ESL 9635ESL 2812 (100 Ω/ )AuPd ESL 6835AESL 2812 (100 Ω / )AgPd ESL 9635ESL 2811 (10 Ω / )AuPd ESL 6835AESL 2811 (10 Ω / )AuPd ESL 6835AAg DP 6320AgPd ESL 9635Ag DP 6320Průměrné naměřené EMF na přechodu[µV/°C]18,916,215,213,39,48,0Obrázek 0.4:Vrstvový planární termočlánek7.3 Piezoelektrické senzory7.3.1 Piezoelektrický jevPiezoelektrické senzory jsou založeny na tzv. přímém piezoelektrickém jevu. Jde o jevfyzikální, při němž mechanická deformace krystalu některých krystalických dielektrickýchlátek způsobí dipólový elektrický moment objemového elementu. Elektrické momenty všechobjemových elementů způsobí polarizaci krystalu. Hodnota elektrické polarizace je číselněrovna fiktivnímu vázanému náboji na jednotkové ploše povrchu, který je kolmý ke směruvektoru polarizace. Po přiložení elektrod k povrchu krystalu vzniknou indukcí na těchtovodivých elektrodách volné náboje. Děj je vratný, tj. přestane-li mechanické napětí působit,vrací se dielektrikum do původního stavu [2].Piezoelektrický jev závisí na směru deformace vzhledem k osám krystalu, viz Obrázek0.5 . Krystal má tři osy, v jejichž směru může být mechanicky namáhán. Elektrický nábojvzniká jen na stěnách kolmých k elektrické ose krystalu.