Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

22 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v Brněnutné tyto vrstvy dostavit na požadovanou hodnotu trimováním pomocí otryskáváníkřemenným pískem nebo trimovaní laserem.4.2.3 Tlustovrstvé senzory založené na vlastnostech pastU senzorů využívajících vlastností tlustovrstvých past se využívá schopností pastreagovat na podněty vnějšího okolí změnou některých svých parametrů. Přitom si tlustévrstvy zachovávají své charakteristické rysy, vysokou odolnost a dobrou stabilitu, jež je nutnápro dosažení reprodukovatelnosti senzoru. Pasty lze u této skupiny senzorů rozdělit nastandardní pasty (vodivé, odporové, dielektrické) a speciální pasty připravené pro danouaplikaci.Tabulka 4.3:Přehled speciálních past používaných v senzorových aplikacíchSpeciální pasty:termorezistivní:• NTC termistorové pasty, oxidy Mn, Co,Cu, Ni, Fe, Ti, Zn, Mg, Cr, Li• PTC termistorové pasty: na bázi BaTiO 3 ,TiO 2 , VO 2 , V 2 O 3• pasty pro RTD na bázi Pt, Ni• nízkoteplotní termistory: RuO 2 , (vykazujírovněž magnotorezistivní vlastnosti)citlivé na vlhkost:• polymerní sloučeniny• hydrotalcitní protonické vodiče• cermetové pasty: SnO2, ...chemicky citlivé:• pevné elektrolyty: ZrO 2 , ...• pasty na bázi oxidů kovů: SnO 2 , WO 3 ,TiO 2 , ...• polymery: polyelektrolyty, uhlíkovépolymerní vrstvy, polyetheruretan,...biocitlivé:• polymerní lože s receptorovými částicemimagnetorezistivní:• na bázi Niferomagnetické:• obsahující feromagnetické složkypyroelektrické:• polymerní – PVDFpiezorezistivní:• cermetové piezorezistivní pasty• PTF: C a Ag polymerní sloučeninypiezoelektrické:• na bázi BaTiO 3• na bázi PZT (olovo, zirkon, titan),vykazují i feroelektrické vlastnosti• piezoelektrické polymery: PVDFdalší oblasti (např. vysokoteplotnísupravodiče, atd.)Speciální pasty se vyrábí pro příslušný typ aplikace záměrným přidáním funkčníchlátek, které se vyznačují požadovanými vlastnostmi do základního materiálu, případněpoužitím zcela nových materiálů nebo technologického zpracování. Pro fyzikální senzorymají uplatnění např. termorezistivní, piezorezistivní, magnetorezistivní a další materiály. Vchemických senzorech se využívá speciálních past pro měření vlhkosti, iontové koncentrace asložek plynů. Růst významu lékařských sledování a diagnostik byly podnětem pro inovaci voblasti speciálních materiálů pro biosenzory (např. vodiče typu Ag/AgCl, které lze tisknout napolymerní substráty). V současné době probíhá vývoj v oblasti hydrotalcitních protonickýchvodičů, feromagnetických past a dalších nových, speciálních past. Avšak z důvodů vysokýchnákladů spojených s jejich aplikacemi bylo vynaloženo značné úsilí na úplné využitívlastností standardních past. Stručné rozdělení nejčastějších speciálních past uvádí Tabulka4.3.