Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy 65kov (materiál) Značka U t [mV/100°C]bizmut Bi -5,2konstantan -3,47nikl Ni -1,92paladium Pd -0,28platina Pt 0uhlík C +0,25wolfram W +0,65rhodium Rh +0,65měď Cu +0,72iridium Ir +0,68zlato Au +0,80molybden Mo +1,16železo Fe +1,87niklchrom NiCr +2,20křemík Si +44,08telur Te +50Obrázek 0.3:Planární multi-termočlánek7.2.3 Tlustovrstvé termočlánkyTlustovrstvé termočlánky se vytváří použitím dvou různých vodivých past formovanýchdo přechodu ze dvou různých materiálů. Používá se standardních komerčních past. Protožečasto neznáme přesné složení komponent použitých past, stanovuje se generovanéelektromotorické napětí (EMF) experimentálně. Překvapivě bylo nejlepších výsledkůdosaženo použitím odporových past. V následující tabulce jsou uvedeny některé kombinacepast vhodné pro tvorbu termočlánků.Příklad TLV realizace ukazuje Obrázek 0.4, kde je vrstvový planární termočlánektvořený sérií termopárů natištěných na dielektrické vrstvě v aplikaci jako převodník promonitorování interakcí chemických částic a citlivé vrstvy u chemického senzoru.Tabulka 7: Hodnoty elektromotorického napětí (EMF) generovaného termočlánkyvytvořenými z různých tlustovrstvých materiálů, použity byly pasty firem ESL a Dupot