Mikrosenzory a mikromechanickÃƒÂ© systÃƒÂ©my - VysokÃƒÂ© uÃ„ÂenÃƒÂ technickÃƒÂ© ...

More documents

Recommendations

Info

<strong>Mikrosenzory</strong> a mikromechanické systémy 85vodivostníA B CnádobkaanalyzovanýroztokvodivostníelektrodyObrázek 11.3: Standardní elektrody pro měření vodivosti kapalných roztoků: A –průtokové, B – skleněné s Pt prstýnky, C - Pt deskovéObrázek 11.4:Průběh poměrných proudů mezi elektrodama v planární struktuřeObrázek 11.5: Tlustovrstvý senzor na bázi SnO 2 (Research Group Göpel) vyrobený SOL –GEL technologií.V mikroelektronické technologii je poměrně snadné vytvořit planární elektrodyz platiny nebo zlata. Základní ukázka designu chemického senzoru představuje Obrázek11.5. Pro detekci plynů je navíc opatřen převodníkem plynů (snímací vrstva) a topnýmelementem. V tlustovrstvé technologii je nevýhodou čistota kovové vrstvy, protože pasta musíobsahovat také vazební složky k zajištění adheze vrstvy. Vypálené vrstvy jsou také velmidrsné i porézní, což na jednu stranu zvyšuje plochu elektrod, ale na druhou geometrickáplocha neodpovídá skutečné a musí být určena experimentálně.
86 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v Brněb) Top10 mm10 mmWO 3 activelayerAu electrodesc) BottomTCR meanderPt heatingresistancea)Bonding padsObrázek 11.6: TLV senzory: a) 10 různých hřebínkových Pt tlustovrstvých čidelprovodivostní měření elektrolytů, b) senzor plynů – horní strana s elektrodami a převodníkem, c)spodní strana s ohřívacím elementem a TCR čidlemPraktický příklad takovýchto elektrod s různou celkovou plochou čidla ukazujeObrázek 11.6 a). Příklad senzoru plynů využívající měření vodivosti představuje. Obrázek11.6 b) a c), který obsahuje potisk z obou stran. Z jedné strany elektrody s převodníkemtvořeným oxidy polovodivých kovů (např. SnO 2 , TiO 2 , WO 3 apod.), tj. aktivní vrstva citlivána plyny. Citlivost změny vodivosti těchto oxidů je nejvyšší většinou při vyšších teplotách,což bývá od 150 do 600°C. Z toho důvodu tento typ senzoru obsahuje topný element a snímačteploty, v tomto případě realizovaný z druhé strany substrátu. Pro svoji činnost využívají dvoujevů :• Když je senzor vystaven příslušnému plynu (např. CO), absorbovaný kyslík na povrchu jespotřebován a sníží se elektrický odpor, viz Obrázek 11.7.• Další změny elektrického odporu jsou způsobeny přenosem elektronů meziadsorbovanými molekulami a polovodičovým povrchem (např. pro detekci NO 2 ).Obrázek 11.7: Vlevo princip funkce chemického senzoru na bázi oxidů kovů, vpravotlustovrstvý senzor na bázi polovodičových oxidů od firmy Scimarec, typ AF – 20 určený prodetekci úniku plynů.Mezi nejpoužívanější chemické senzory patří senzory na bázi SnO 2 . Přítomnost určitéhoplynu a jeho koncentrace může být určena hodnotou elektrického odporu, resp. poměremzměny odporu k referenční hodnotě. Závislosti ukazuje Obrázek 11.8.
Page 4 and 5:
DESCRIPTIONSafety FittingsIt is not
Page 6 and 7:
Mikrosenzory a mikromechanické sys
Page 8:
Page 11 and 12:
8 Fakulta elektrotechniky a komunik
Page 14 and 15:
Page 16 and 17:
Page 18 and 19:
Page 20 and 21:
Page 22 and 23:
Page 24 and 25:
Page 26 and 27:
Page 28 and 29:
Page 30 and 31:
Page 32 and 33:
Page 34 and 35:
Page 36 and 37:
Page 38 and 39: Mikrosenzory a mikromechanické sys
Page 106: Mikrosenzory a mikromechanické sys
show all

Mikrosenzory a mikromechanickÃƒÂ© systÃƒÂ©my - VysokÃƒÂ© uÃ„ÂenÃƒÂ­ technickÃƒÂ© ...

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?

Mikrosenzory a mikromechanickÃƒÂ© systÃƒÂ©my - VysokÃƒÂ© uÃ„ÂenÃƒÂ technickÃƒÂ© ...