Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy 25deposition), sol-gel techniky a laserové depozice (laser ablation). Těmito metodami se získajívrstvy, ve kterých se pomocí masky vytvářejí motivy následným selektivním leptáním,popřípadě deponováním přes masku, tj. přímým vytvářením motivu.Tenkovrstvé technologie jsou využívány především v realizaci vodivých, odporových adielektrických vrstev. V oblasti senzorové techniky jsou však vytvářeny i vrstvy speciální. Uněkterých materiálů lze vysledovat i polovodičové vlastnosti, např. byl realizován tenkovrstvýtranzistor, piezorezistivní nebo piezoelektrické materiály (PZT) pro měniče (převodníky)mechanického namáhání, polovodivé oxidy kovů s katalytickými vlastnostmi pro plyny aorganické výpary apod. Po nanesení vrstev obsahují tyto vrstvy značné množství strukturníchnehomogenit a defektů. Ve vrstvě proto mohou probíhat děje projevující se dlouhodobýmizměnami elektrických parametrů a směřující k dosažení termodynamické rovnováhy systému.To lze urychlit preventivním vystárnutím vrstvy za zvýšené teploty. Např. vrstvy NiCr sestabilizují při teplotě 300ºC po dobu 1 hodiny, pro docílení vysoké stability dále při teplotě200ºC po dobu 24 hodin. Vrstvy TaN se stabilizují při teplotě 300ºC po dobu 16 hodin.Stabilizované vrstvy vykazují velmi dobré elektrické vlastnosti.4.3.1 NaprašováníJe-li pevný (nebo tekutý) materiál bombardován atomy, viz. Obrázek 4.5.a), ionty nebomolekulami, dochází k mnoha fenoménům. Ten který je více možný nebo dominuje závisí nakinetické energii bombardovacích částic. U velmi nízkých kinetických energií (