Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

74 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v Brně9.1 Optoelektronické senzoryOptoelektronické senzory v mikroelektronické planární technologii už existují velmi dlouhov podobě optronů, které tvořili galvanické oddělení mezi obvody. Optron obsahoval generátorsvětla (LED) a detektor. Mezi nimi se nacházelo optické prostředí. Pokud se toto prostředímění, mění se tedy podmínky pro přenos signálu, které lze dekovat. Lze tedy velmi jednodušepřejít na optický senzor.Obrázek 9.1: Optron – vysílač a přijímač v jednom pouzdřeJako generátor světla se využívá převážně IR diody nebo polovodičový laser.Fototranzistor většinou na bázi GaAs/AlGaAs s filtrem slouží jako snímač. Planárnítechnologie umožňuje vytvořit difrakční mřížky a sklo s dobrými vlasnostmi, což umožňujevytvořit optické cesty. Kromě běžného principu detekce na základě odrazu či ohybu světla jezřejmé, že planární optické senzory budou pracovat jako integrované složité systémy prospektrální analýzu světla. Příklad planárního analyzátoru spektrální koherence ukazujeObrázek 9.2. Nad detektorem je umístěno zrcadlo, které je ovládáno speciálně navrženýmiobvody, které umožňují vzdálit ho od detektoru až na vzdálenost 5 µm.Obrázek 9.2: Mikrosenzor pro analýzu spektrální koherenceDnes jsou velmi užívané polohové optické senzory, které obsahují matici detektorů asnímají odražený paprsek laseru, dále snímače čárkových kódů a podobně. Optické senzory adetektory planárně realizované se začínají užívat také při detekci chemických látek viz.chemické senzory.