Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

2 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v Brně8.1 TERMOELEKTRICKÝ ČLÁNEK..................................................................................... 618.1.1 Obecné vlastnosti termoelektrických článků.................................................... 618.1.2 Tenkovrstvé termočlánky.................................................................................. 638.1.3 Tlustovrstvé termočlánky ................................................................................. 648.2 PIEZOELEKTRICKÉ SENZORY ..................................................................................... 658.2.1 Piezoelektrický jev............................................................................................ 658.2.2 Náhradní elektrické schéma, materiály a využití piezoelektrických senzorů... 678.3 INDUKČNÍ SENZORY .................................................................................................. 699 POLOVODIČOVÉ SENZORY.................................................................................... 729.1 TEPLOTNÍ ZÁVISLOST................................................................................................ 729.2......................................................................................................................................... 7210 OPTOELEKTRONICKÉ SENZORY ..................................................................... 7210.1 OPTOELEKTRONICKÉ SENZORY ................................................................................. 7310.2 SENZORY SE CCD PRVKY ......................................................................................... 7411 CHEMICKÉ SENZORY........................................................................................... 7611.1 ELEKTROCHEMICKÉ SENZORY................................................................................... 8211.1.1 Impedanční senzory.......................................................................................... 82Konduktometrické senzory ............................................................................................... 83Impedimetrické senzory.................................................................................................... 8711.1.2 Amperometrické senzory .................................................................................. 8911.1.3 Iontově selektivní tlustovrstvé senzory............................................................. 91ISFET senzory.................................................................................................................. 9211.2 GRAVIMETRICKÉ CHEMICKÉ SENZORY ...................................................................... 9411.3 TEPLOTNÍ CHEMICKÉ SENZORY ................................................................................. 9411.4 OPTICKÉ CHEMICKÉ SENZORY................................................................................... 9511.5 FLUORESCENČNÍ CHEMICKÉ SENZORY....................................................................... 9611.6 BIOSENZORY ............................................................................................................. 9612 SPECIÁLNÍ DRUHY SENZORŮ............................................................................ 7612.1 HALLOVY SENZORY .................................................................................................. 7612.1.1 Hallův jev v senzorech polohy ......................................................................... 7712.1.2 Hallův jev v proudových snímačích ................................................................. 7813 MIKROELEKTROMECHANICKÉ SYSTÉMY................................................... 9713.1 OBECNĚ O MIKROELEKTROMECHANICKÝCH SYSTÉMECH .......................................... 9713.2 PROCES NANOMECHANIZOVÁNÍ ................................................................................ 99