Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy 69k p[CN -1 ] 300 2,1 120k u[VN -1 ] 18 5 1max. teplota [ o C] 45 550 110ε r [-] 350 4,5 1200 ÷ 1700mechanická pevnost [MPa] 1,5 . 10 4 1.10 5 8.10 4meze relativní vlhkosti [%] 30 - 85 0 - 100 0 - 100hustota [kg.dm -3 ] 1,77 2,6 5,5Výhodou piezoelektrických senzorů jsou malé rozměry, jednoduchost, mají lineárnípřevodní charakteristiku. Používají se zejména k měření tlaku, tlakové síly, zrychlení,výchylky a mechanického napětí. Příklady využití ukazuje Obrázek 0.8.Obrázek 0.8:Příklady využití piezoelektrických senzorůJeden příklad využití je v oblasti vážení hmotnosti, kde se využívá piezoelektrický rezonátor.Jeho náčrt a realizaci jako mikrováhy ukazuje Obrázek 0.9 [23].Obrázek 0.9:Piezoelektrická rezonanční mikrováha