Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

24 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v Brněsubstrátu. Změna vzdálenosti, způsobená pohybem nebo průhybem membrány vyvolá změnukapacity, jež je úměrná příčině této změny.Obrázek 4.3 znázorňuje senzor tlaku který pracuje na principu změny kapacity.Obrázek 4.3:Princip senzoru tlaku využívající kapacitní principPoužije-li se jako dielektrikum pórovitý materiál, dochází ke změně relativní permitivitydielektrika a kapacitní senzor lze využít pro měření vlhkosti. Výhodou jsou nízké náklady,spolehlivost a odolnost.Dalším příkladem senzoru využívajícího změny parametrů obvod je jednoduchýodporový snímač polohy, Obrázek 4.4. Je tvořen odporovou vrstvou s vývody po níž sepohybuje běžec s vývodem, který je vhodným způsobem upevněn na sledované těleso. Odpormezi vývodem běžce a jedním z vývodu je funkcí vzdálenosti běžce od vývodu odporovévrstvy. Jestliže je odporová vrstva ve tvaru části mezikruží lze sledovat úhlové natočenítělesa. Odporový senzor není využíván jen pro měření polohy samotného, ale po vhodnémpřevodu sledované veličiny na polohu i k měření rychlosti, akcelerace, tlaku, teploty aj.Obrázek 4.4:Princip odporového snímače polohy4.3 Technologie tenkých vrstevTenkovrstvou technologií jsou označovány všechny techniky jež umožňují depozicianorganických vrstev s tloušťkou do 1 µm fyzikálními metodami. U některých technik jesamozřejmě možné dosáhnout i větších tloušťek, ale ve většině případů nejde o ekonomickédepozice, popř. se již značně mění fyzikální vlastnosti deponované vrstvy. Mezi technologietenkých vrstev patří iontová a plazmová depozice známá spíše pod názvy vakuové napařování(vacuum evaporation), naprašováním (sputtering), a elektrodepozice (electrochemical