Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

90 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v BrněObrázek 11.13: Kapacitní polymerní chemický senzor s interdigitální strukturou a spolyetherurethanovou snímací vrstvou. Vlevo odezva tohoto senzoru na přítomnost ethanolu(Research Group Göpel).V posledních letech došlo k vývoji a rozšíření polymerních hydroskopických materiálůpro senzory vlhkosti. Tato zařízení se vyznačují velkou přesností, a spolehlivostí. To vše je vespojení s minimálními náklady a prakticky nulovou údržbou předurčuje k širokému použití vtechnické praxi. Jako typický příklad kombinovaného polymerního senzoru vlhkostiimpedančního typu lze uvést senzor pro měření vlhkosti z kopolymeru z ionizovanéhomonomerního NaSS (sodík styren sulfonát) a neionizovaného monomeru HEMA(hydroxyetyl metakrylát) na substrát a poté sušení. Celý systém je realizován na jednomsubstrátu, např. s kmitočtově modulovaným výstupním signálem, viz. Obrázek 11.14 . Proteploty kolem 25°C senzor vykazuje poměrně lineární závislost na relativní vlhkosti. Teplotnízávislost je 0,5 až 0,6 %RH /°C v teplotním rozsahu mezi 10 a 50°C. Pro 90% hodnotyrelativní vlhkosti je čas odezvy 3 až 4 minuty.Obrázek 11.14: Tlustovrstvý senzor pro měření vlhkosti s integrovanými obvody prozpracování signálu (astabilní klopný obvod převádí změnu odporu vrstvy na změnufrekvence)11.1.2 Potenciometrické senzory, pH senzoryPrincip je založen na zjišťování potenciálu fázového rozhraní. Nejdůležitější propotenciometrii jsou potenciály mezi kovem a roztokem. Měříme vždy proti porovnávacístandardní elektrodě.