Technische Richtlinie Mechanik - Roth & Rau AG

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RR-N 002 Oberflächenbehandlung Oberflächenreinigung und Handhabung von Vakuumteilen Das Ausheizen erfolgt im Vakuumofen unter folgenden Parametern: Enddruck des Ofens : < 1x10 -3 mbar bei 250 bis 300°C Zugelassene HV-Pumpen : Wälzkolbenpumpe, Turbomolekularpumpe, Kryopumpe Druck beim Ausheizen :
RR-N 002 Oberflächenbehandlung Oberflächenreinigung und Handhabung von Vakuumteilen 1) Optional, wenn es zur Beseitigung fertigungsbedingter Verunreinigungen notwendig ist. 2) Optional, wenn auf besonders kohlenwasserstoffarme Bauteiloberfläche Wert gelegt wird. 3) Dieses Ausheizen wird immer benötigt. 4) Optionale Angabe auf Zeichnungen. 4.1. Reinigungsverfahren und Oberflächenbehandlung für Vakuumkammern Hierfür wird folgender praxisbezogener Reinigungsablauf festgelegt: Waschen im Hochdruckheißreinigungsverfahren mit Stadtwasser (60bar/125°C) unter Zusatz von Reinigungsmittel „Mobilrein HD 1“ der Fa. FALA. Getrocknet werden diese Bauteile durch abblasen mit trockner, ölfreier Druckluft und anschließender 24-stündiger Ablagerung unter Raumtemperatur von ≥20°C und einer relativen Luftfeuchtigkeit von ≥65%. Als Oberflächenbehandlung wird Glasperlengestrahlt mit einer Körnung von 90 bis 120µm festgelegt. 5. Verpackung, Transport, WE-Kontrolle, Endmontage Nach dem Reinigen sind die GV-, FV- und HV-Bauteile mittels Kunststoff-Folie oder Gleichwertigem staubgeschützt zu verpacken. UHV-Bauteile dürfen nach dem Reinigungsvorgang nur noch mit sauberen Handschuhen angefasst werden. Sie sind ggf. abzukühlen, in Kunststoff-Folie zu verpacken und hermetisch zu verschließen. Für einen Transport sind die Teile so herzurichten, dass sie einschließlich ihrer Verpackung vor Beschädigungen geschützt sind. Für die Kontrolle (z.B. QM) gelten die gleichen Handhabungsvorschriften wie vorgenannt beschrieben. Auch bei der Montage der Teile sind diese so zu behandeln, dass sie nicht verunreinigt werden. 6. Angaben in Zeichnungen Zusätzlich zu den Angaben über Oberflächenrauheit und Leckrate ist gemäß vorliegender Norm die Oberflächensauberkeit in die Zeichnung in Form eines Reinigungshinweises aufzunehmen. Dabei ist der jeweilige Einsatz-Vakuumbereich anzugeben und Bezug auf die vorliegende Norm zu nehmen. Ausheizungen und Strahlbehandlungen sind, wenn erforderlich, zusätzlich anzuziehen. Beispiel 1: Angabe: HV-gereinigt RR-N 002 Abt. Konstruktion PV Bearbeiter: H. Prskawetz Revision: 00 Freigabe: L. Eismann Dok.-Nr.: RR-N 002.docx Stand: 28.05.2010 Seite 3 von 4 Ausdrucke und Kopien unterliegen nicht dem Änderungsdienst! Erstellt: P.Siml Freigegeben: LEI Stand: 08.07.2013 Rev.: 1.1 RL_19_07_Technische_Richtlinie_Mechanik Seite 35 von 43
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