Technische Richtlinie Mechanik - Roth & Rau AG

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RR-N 002 Beispiel 2: zusätzlichem Oberflächenbehandlung Oberflächenreinigung und Handhabung von Vakuumteilen Reinigung eines Vakuumbauteils aus CrNi-Stahl für den Einsatz im HV-Bereich mit Reinigungsheizen, Ausheizen und Strahlbehandlung zum Verfestigen der Oberfläche. Angabe: HV-gereinigt RR-N 002 -reinigungsgeheizt -ausgeheizt Die Angaben sind in der Nähe des Schriftfeldes vorzunehmen. 7. Verweise auf andere Normen RR-N 001 Begriffe und Eigenschaften von Vakuumbauteilen RR-N 003 Oberflächenbehandlung Strahlen RR-N 004 Leckrate für Einzelteile und Baugruppen Abt. Konstruktion PV Bearbeiter: H. Prskawetz Revision: 00 Freigabe: L. Eismann Dok.-Nr.: RR-N 002.docx Stand: 28.05.2010 Seite 4 von 4 Ausdrucke und Kopien unterliegen nicht dem Änderungsdienst! Erstellt: P.Siml Freigegeben: LEI Stand: 08.07.2013 Rev.: 1.1 RL_19_07_Technische_Richtlinie_Mechanik Seite 36 von 43
Anlage 9: RR-N 004 RR-N 004 Leckraten für Einzelteile u. Baugruppen Angaben in Zeichnungen u. Bestellungen 1. Anwendungsbereich und Zweck Diese Norm ist anzuwenden bei Erstellung von Zeichnungen für Einzelteile und Baugruppen, die bezogen auf ihren Einsatz, eine festzulegende Dichtheit besitzen müssen. Sie dient dazu, für diese Teilegruppe entsprechend ihrem Einsatzbereich im Vakuum, eine maximal zulässige Leckrate festzulegen und in der Zeichnung bzw. Lieferantenbestellung zu dokumentieren. Entsprechend diesen Angaben sind die zu prüfende Dichtheit und die anzuwendende Prüfmethode festgelegt. 2. Begriffe Die Dichtheit eines Teils bedeutet, dass Leckrate gleich oder kleiner als ein vorgegebener Wert ist, wobei dieser Wert vom jeweiligen Anwendungsfall (Vakuumbereich) abhängt. Die Leckrate ist die durch Lecks in das System eindringende Gasmenge pro Zeiteinheit. Sie wird in der Einheit „mbar · l · s -1 “ gemessen. Eine Leckrate von 1 mbar · l · s -1 liegt vor, wenn in einem abgeschlossenen Behälter von 1 Liter Volumen in 1 Sekunde der Druck um 1 mbar ansteigt bzw. der Überdruck um 1 mbar abfällt. Messmethoden für Leckraten sind: - He-Integral-Dichtheitsprüfung - He-Einzel-Dichtheitsprüfung - Dichtheitsprüfung nach der Druckanstiegsmethode Der Vakuumbereich (Einsatzbereich im Vakuum) wird untergliedert in: - Grobvakuum (GV) - Feinvakuum (FV) - Hochvakuum (HV1, HV2) - Ultrahochvakuum (UHV) Die Dichtheitsanforderungen an ein Einzelteil oder eine Baugruppe wird durch den Prüfenddruck bestimmt. Der Prüfenddruck ist der Druck, der als spezifisches Maß für eine Anlage im unbeschickten Vakuumbehälter festgelegt und geprüft wird. 3. Leckraten 3.1. He-Integral- und Einzeldichtheitsprüfung In der folgenden Tabelle sind die max. zulässigen Leckraten in Abhängigkeit von den 4 Vakuumbereichen für Einzelteile, Baugruppen und einige spezifische Baugruppen festgelegt. Dabei gelten folgende Definitionen: Einzelteile sind Gegenstände, die nur aus einem Halbzeug bestehen. Darunter fallen auch oberflächenbeschichtete Teile. Prüfmethode: He-Integral-Dichtheitsprüfung oder He-Einzel-Dichtheitsprüfung. Baugruppen sind in sich geschlossene aus mindestens zwei oder mehreren lösbar oder unlösbar miteinander verbundenen Teilen und/oder Gruppen bestehende Gegenstände. Sie haben eine eigenständige, bezogen auf die Anlage jedoch eine unselbstständige Funktion. Prüfmethode: He-Einzel-Dichtheitsprüfung. Abt. Konstruktion PV Bearbeiter: H. Prskawetz Revision: 00 Freigabe: L. Eismann Dok.-Nr.: RR-N 004.docx Stand: 28.05.2010 Seite 1 von 3 Ausdrucke und Kopien unterliegen nicht dem Änderungsdienst! Erstellt: P.Siml Freigegeben: LEI Stand: 08.07.2013 Rev.: 1.1 RL_19_07_Technische_Richtlinie_Mechanik Seite 37 von 43
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