Technische Richtlinie Mechanik - Roth & Rau AG
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RR-N 004<br />
Leckraten für Einzelteile u.<br />
Baugruppen<br />
Angaben in Zeichnungen u.<br />
Bestellungen<br />
Vakuumbereich<br />
Prüfenddruck<br />
max. Leckraten (mbar x l x s -1 ) He<br />
Vakuumbauteile<br />
Nichtvakuumbauteile für<br />
Einsatz im Vakuum<br />
(mbar)<br />
Einzelteile<br />
1) oder 2)<br />
Rezipient,<br />
Baugruppen<br />
(außer mech.<br />
Durchf.) 2)<br />
mechan.<br />
Durchführung<br />
1) oder 2)<br />
Pneumatikzylinder<br />
GV > 1 · 10 -2 1 1 1 1 1<br />
Klappenventil<br />
FV 1 · 10 -2 - 1 · 10 -4 1 · 10 -3 1 · 10 -3 1 · 10 -1 1 · 10 -1 1 · 10 -1<br />
HV1 1 · 10 -4 - 1 · 10 -6 1 · 10 -6 1 · 10 -6 1 · 10 -5 Nachfrage Nachfrage<br />
HV2 1 · 10 -6 - 1 · 10 -8 1 · 10 -8 1 · 10 -8 1 · 10 -6<br />
/ /<br />
3)<br />
UHV < 1 · 10 -8 1 · 10 -10 1 · 10 -10 / / /<br />
3.2. Dichtheitsprüfung nach der Druckanstiegsmethode<br />
Für Rezipienten kann zusätzlich zu den He-Einzel-Dichtheitsprüfungen nach 3.1. eine<br />
Prüfung nach der Druckanstiegsmethode notwendig sein. Das gilt insbesondere für<br />
Rezipienten<br />
in kubischer Form,<br />
in geschweißter Ausführung,<br />
mit eingeschweißten Stegen,<br />
mit angeschweißten Trennflächen.<br />
Beispiel:<br />
Kammermodule der SiNA®<br />
Leckrate nach Druckanstiegsmethode ≤ 10 -3 mbar · l · s -1<br />
Leckraten für andere Rezipienten sind entsprechend den technischen Erfordernissen<br />
festzulegen.<br />
4. Angaben in Zeichnungen und in Bauteilen<br />
4.1. He-Integral- und He-Einzel-Dichtheitsprüfung<br />
4.1.1. Zeichnungen<br />
In Zeichnungen wird die Leckrate nicht als Wert sondern indirekt über den Vakuumbereich<br />
angegeben.<br />
Beispiel:<br />
1) = He-Integral-Dichtheitsprüfung<br />
2) = He-Einzel-Dichtheitsprüfung<br />
3) = z.B. Zwischenabsaugung<br />
/ = nicht zulässig<br />
max. He-Einzel-Leckrate eines Rezipienten für einen Prüfenddruck von<br />
1 · 10 -5 mbar (Hochvakuumbereich HV 1): 1 · 10 -6 mbar · l · s -1<br />
Angabe: HV1-dicht nach RR-N 004<br />
Die Angabe ist in der Nähe des Schriftfeldes anzuordnen!<br />
Abt. Konstruktion PV<br />
Freigabe: L. Eismann<br />
Bearbeiter: H. Prskawetz<br />
Dok.-Nr.: RR-N 004.docx<br />
Revision: 00<br />
Stand: 28.05.2010<br />
Seite 2 von 3<br />
Ausdrucke und Kopien unterliegen nicht dem Änderungsdienst!<br />
Erstellt: P.Siml Freigegeben: LEI Stand: 08.07.2013<br />
Rev.: 1.1 RL_19_07_<strong>Technische</strong>_<strong>Richtlinie</strong>_<strong>Mechanik</strong> Seite 38 von 43
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