Jahresbericht Forschung

Fakultätsübergreifende Forschung 9
Teilprojekte:
Projektbereich A:
A1 Komponentenentwurf
A2 Systementwurf
A3 Applikative Systemlösungen
A4 Mehrbereichs-Sensorarray zur Bewegungsanalyse auf der Basis der oberflächennahen
Si-bulk-Mikromechanik
A5 Positioniersystem
A6 Virtuelles Prototyping mikro-elektromechanischer Aktoren
Projektbereich B:
B1 Sensor-/Aktorarrays unter Verwendung von Piezopolymeren
B2 Experimentelle Charakterisierung, Modelladaption – Zuverlässigkeit
Projektbereich C:
C2 Monolithische Integration von Sensor- und Aktorarrays in Si-Einkristall-Oberflächenmikromechanik
mit der Elektronik
C3 Scannerkomponenten mit breitbandigen dielektrischen Reflexionsschichten
C4 Mikroelektronik-kompatible Scanner-Arrayanordnungen hoher Frequenz
Wesentliche Forschungsergebnisse:
Bisher konnten erfolgreich verschiedene Demonstratoren präpariert werden.
Dazu gehören vor allem folgende Bauelemente:
§ Ultraschall-Wandler-Arrays : Arrays für flüssige und gasförmige Medien
Piezopolymere dienen als Grundlage für die elektro-akustische Wandlung. Sie zeichnen
sich durch einen Schwenkwinkel bis 60° und einen Schalldruck bis 105 dB aus.
§ Kapazitive Mehrbereichs-Sensorarrays:
Diese Sensoren werden in der neuentwickelten SCREAM-Technologie gefertigt. Kennzeichnend
sind elektrostatisch abstimmbare Resonanzfrequenzen für einen Frequenzbereich
von 2 bis 100 kHz.
§ Scannerarrays zur Laserstrahlablenkung:
Die aus 5 x 5 Spiegelelementen bestehenden Arrays lassen eine 1-dimensionale Strahlablenkung
mit einer Resonanzfrequenz von 1 kHz zu. Sie wurden in der BESOI-Technologie
gefertigt und benötigen als besonderen Teilschritt während der Herstellung das Niedertemperatur-Waferbonden.
Bewilligungszeitraum:
01.01.1995 bis 31.12.2000 (nach Verlängerung)