Jahresbericht Forschung

160 Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
§ “BRITE-EURAM: HBT Epitaxy Reliability Optimization & Sources”, BRPR CT98 0789; EU-
Forschungsvorhaben; 01. 10.1998 - 31.03.2001
PROFESSUR: Elektronische Bauelemente
Univ.-Prof. Dr. Gunter Ebest
Telefon: (03 71) 5 31-33 73
Fax: (03 71) 5 31-33 74
E-mail: ebest@e-technik.tu-chemnitz.de
Forschungsschwerpunkte:
§ Wirkprinzipien und Modellierung elektronischer Bauelemente
§ Integrierte Schaltungstechnik (Entwurf, Simulation, Layout, Parameterextraktion,Test)
§ Mikrosystemelektronik (diskret, integriert, analog, mixed, high voltage, low power)
§ Monolithische Integration in der Mikrosystemtechnik
§ MIS-Solarzellen (Herstellung, Analyse, Meßtechnik und Modellierung)
Forschungsprojekte / Forschungsvorhaben:
§ Großflächige multikristalline Si-Solarzellen mit hohen Wirkungsgraden, BMBF-Projekt, (Laufzeit:
01.01.1998 - 31.12.2000)
§ Sonderforschungsbereich 379 “Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays”, DFG-Projekt,
(Laufzeit: 01.01.1998 - 31.12.2000)
Teilprojekt A3: Applikative Systemlösungen
Teilprojekt A4: Mehrbereichssensorarray zur Bewegungsanalyse
Teilprojekt B1: Sensor-/Aktorarrays unter Verwendung von Piezopolymeren
Teilprojekt C2: Monolithische Untegration von Sensor- bzw. Aktorarrays mit der Elektronik
PROFESSUR: Mikrosystem- und Gerätetechnik
Univ.-Prof. Dr. Wolfram Dötzel
Telefon: (03 71) 5 31-32 65
Fax.: (03 71) 5 31-32 59
E-mail: doetzel @ infotech.tu-chemnitz.de
Forschungsschwerpunkte:
§ Funktioneller Entwurf und Untersuchung mikromechanischer Komponenten
§ Entwicklung und Anwendung von Entwurfswerkzeugen und -methoden für mikromechanische
Komponenten und Systeme, gekoppelte Feldberechnungen
§ Experimentelle Analyse von Mikrostrukturen