Jahresbericht Forschung
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162 Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik<br />
§ “Technologien der Mikrosystemtechnik für die Sicherheit im Fahrzeug (SiFa - MST”, BMBF,<br />
01.01.1995 - 31.12.1998<br />
§ “Farbbildanzeige (FABIAN)”, BMBF, 01.01.1996 - 30.04.1999<br />
§ “Entwicklung von Grundlagen wirtschaftlicher Technologien und Anlagen der Mikrofabrikationstechnik”,<br />
SMWA, 01.09.1998 - 30. 04.2000<br />
§ “Mobile Emissionsmessung: Entwicklung und Herstellung von Labormustern für eine Zustandsanalyse<br />
eines Kraftfahrzeugs”, SMWA, 01.06.1998 - 30.06.2000<br />
§ “3D-Laser-Mikrostrukturierung: Applikationstechnologien für flache Silizium-Glas-Verbunde”,<br />
SMWA, 01.03.1998 - 31.12.2000<br />
§ “Strömungsmechanische Untersuchung mikrofluider Bauelemente”, VW-Projekt, 01.01.1994<br />
- 31.03.1998<br />
§ “Equipment- und Prozeßsimulation für 300 mm Einscheiben-CVD-Reaktoren (EPSIM)”,<br />
SMWK, 01.07.1997 - 31.12.1999<br />
§ “Entwurf, Fertigung und Charakterisierung eines mikromechanischen Kraftsensorsystems”,<br />
01.05.1998 - 30.09.1999<br />
PROFESSUR: Opto- und Festkörperelektronik<br />
Univ.-Prof. Dr. Christian Radehaus<br />
Telefon: (03 71) 5 31-30 85<br />
Fax.: (03 71) 5 31-30 04<br />
E-mail.: cvr@infotech.tu-chemnitz.de<br />
<strong>Forschung</strong>sschwerpunkte:<br />
§ Optoelektronische und optische Signal- und Informationsverarbeitung<br />
§ Optische Kommunikation, WDM - Technik<br />
§ Integrierte Optik auf Siliziumbasis<br />
§ Nanotechnologie für optische und elektronische Anwendungen<br />
§ Nanostrukturierung mittels Elektronenstrahllithografie<br />
§ Optoelektronische Sensorsysteme<br />
§ Herstellung und Analyse ultradünner funktionaler Schichten<br />
<strong>Forschung</strong>sprojekte / <strong>Forschung</strong>svorhaben:<br />
§ Beschichtungsverfahren für Single Electron Tunneling (SET) - Technologien; Zuwendungsgeber:<br />
BMBF 13N6892; Laufzeit: 1996 -1999<br />
§ Scannerkomponenten mit breitbandigen dielektrischen Reflexionseigenschaften: Messung<br />
der Reflexionskoeffizienten dielektrischer Multilayer; im Rahmen von SFB 379 (Mikromechanische<br />
Sensor- u. Aktorarrays), Teilprojekt C3; Zuwendungsgeber: DFG; Laufzeit:<br />
1998 - 2000<br />
§ Applikative Systemlösungen: Optoelektronisches Interface ; im Rahmen von SFB 379 (Mikromechanische<br />
Sensor- u. Aktorarrays), Teilprojekt A3; Zuwendungsgeber: DFG; Laufzeit: 1998<br />
- 2000<br />
§ Entwurf und Realisierung eines optischen Multiplexers als Integrierte Optik auf Siliziumbasis<br />
(Haushaltfinanzierung)<br />
§ Farbmeßtechnik und Sensorik: Entwicklung eines Farbmeßgerätes nach dem Mehrbereichsverfahren,<br />
(Haushaltfinanzierung)
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