Jahresbericht Forschung

170 Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Mrwa, A., Erler, K., Ebest, G.: Solarzellen aus multikristallinem Silizium - eine preiswerte Alternative?,
SFB-Kolloquium am 24.08.1998, TU Chemnitz
Dissertationen:
Wünsche, S.: Ein Beitrag zur Einbeziehung thermisch-elektrischer Wechselwirkungen in den
Entwurfsprozeß integrierter Schaltungen
Mikrosystem- und Gerätetechnik
Univ.-Prof. Dr. Wolfram Dötzel
Wissenschaftliche Veröffentlichungen:
Billep, D.; Zimmermann, S.; Breng, U.; Gutmann, W.; Hafen, M.; Handrich, E.;
Leiblich, M.; Ryrko, B.F.; Wetzel, M.; Geßner, T.; Hiller, K.; Wiemer, M.: A Novel Micromachined
Silicon Gyro. Symposium Gyro Technology 1998, Universität Stuttgart, Stuttgart, 1998, pp 7.1-
7.10
Doetzel, W.; Tracey, M.; Johnston, I.; Geenaway, R.; Davis, J.; Sutton, N.; Schulze, G.: “A
microfluidics-Based Microcytometer: Interfacing Microfluidics with Macrofluidics” Kluwer
Academic Publishers, 1998, Dordrecht.
Doetzel, W.; Geßner, T.; Fujita, H.; Collard, D.: “Microactuators for Scanning and other
applications” Proceedings of the actuators ‘98, p.27, Bremen 1998, ISBN -3 - 933339 - 00 - 6
Doetzel, W.; Nguyen, N.T.; Richter, S.; Mehner, J.; Schubert, S.; Geßner, T.: “Hybrid micro
dosing system” SPIE 1998, Santa Clara, Symposium on micromachining and microfabrication,
Proc. of SPIE Vol. 3514, September 1998
Hiller, K; Wiemer, M.; Billep, D.; Hühnerfürst, A.; Geßner, T.; Ryrko, B.; Breng, U.; Zimmermann,
S.; Gutmann, W.; Wetzel, M.: A new bulk micromachined gyroscope with vibration
enhancement by coupled resonators. MICRO SYSTEM Technologies ’98, Potsdam, 1998, pp.
115-120, ISBN -3 - 8007 - 2421 - 9
Kehr, K.; Hahn,R.; Kurth, S.; Kaufmann, Ch.; Schmidt, K.; Schubert, I.; Wollmann, U.;
Doetzel, W.; Geßner, T.: Technological Approaches to Micromirror Fabrication for High Frequency
Scanning Applications, MICRO SYSTEM Technologies ’98, Potsdam, 1998,
pp. 171-176, ISBN -3 - 8007 - 2421 - 9
Kehr, K.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Kurth, S.; Mehner, J.; Wollmann, U.; Dötzel, W.; Geßner,
T.: “Mikrospiegelarrays für Scan-Frequenzen bis 250 kHz” Fachtagung Informationstechnik und
Mikrosystemtechnik, Magdeburg 1998, Tagungsband S. 47-54, ISBN 3 - 930385 - 14 - 7
Kehr, K.; Kurth, S.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Mehner, J.; Doetzel, W.; Geßner, T.: “Strip
Array for Scanning Applications with Frequencies up to 70 kHz” Proceedings of the actuators
‘98, p. 47-53, Bremen 1998, ISBN - 3 - 933339 - 00 - 6
Kraenert, J.; Deter, C.; Geßner, T.; Doetzel, W.: “Laser Display Technology” MEMS 98, Heidelberg,
p. 99, ISBN 0 - 7803 - 4412 - X
Kurth, S.; Kehr, K.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Doetzel, W.; Geßner, T.: ”Cross coupling and
tolerances in micromirror-arrays and the effect on their application” Proceedings of the actuators
‘98, p. 86, Bremen 1998, ISBN - 3 - 933339 - 00 - 6
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Doetzel, W.: “An Electronic Panorama Projection System”
Proceedings of the Conference Aplikovana Elektronika ‘98, p. 96 - 102, Zapodoceska Univerziteta
Plzen, Plzen 1998,
Mehner, J., Kurth, S.; Billep, D.; Kaufmann, C.; Kehr, K.; Doetzel, W.: Simulation of Gas
Damping in Microstructures with Nontrivial Geometries. Proc. MEMS ’98, Heidelberg, Germany,
1998, pp. 172-177, ISBN 0 - 7803 - 4412 - X
Richter, S.; Nguyen, N.T.; Schubert, S.; Doetzel, W.: “Hybrid-assembled micro dosing system