Jahresbericht Forschung

Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Wenzel, C. 2 ; Stavreva, Z. 2 : “Zuverlässigkeit von mittels RIE und CMP gefertigter sub-µm-Kupferleitbahnen”,
Talk presented at the ITG’98, Hannover, March 1998. ITG-Fachbericht 148, VDE-
Verlag , 1998 , pp. 223-228. 1 Universität Hannover, IHT, Appelstraße 11A, 30167 Hannover. 2
Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, 01062 Dresden
Weiss, K.; Riedel, S.; Schulz, S.E.; Geßner, T.: “Report on specific process for CVD of coherent
seed layer for copper electroplating”, 1 st TUC deliverable in DAMASCENE project (ESPRIT EP
n° 25220), Chemnitz, July 1998.
Weiss, K.; Riedel, S.; Schulz, S.E.; Geßner, T.: “Copper Seed Layers for Electroplating of
Copper”, Poster presented at the “Advanced Metallization Conference in 1998”, Colorado Springs,
CO, USA, 6 – 8 Oct. 1998.
Winkler, T.; Schulz, S.E.; Streiter, R.; Geßner, T.: “Fabrication of SiO 2 based nanoporous
aerogel thin films for advanced IC metallization”, Conference Proceedings ULSI XIII “Advanced
Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1997”, MRS Warrendale, PA,
1998, pp. 347-351, ISBN 1-55899-412-2
Wolfrum, G., Neubert, R., Otto, T., Radehaus, C.: “Optical Waveguide Analysis for Colour
Measurement”, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida, IWKM‘98, November
98, Mittweida, ISSN 1430-3698
Zimmermann, S.; Breng, U.; Gutmann, W.; Hafen, M.; Handrich, E.; Leiblich, M.;
Ryrko, B.F.; Wetzel, M.; Billep, D.; Geßner, T.; Hiller, K.; Wiemer, M.: “A Novel Micromachined
Silicon Gyro”, Symposium Gyro Technology 1998, Universität Stuttgart, Stuttgart, 1998, pp 7.1 -
7.10
Patente:
König, D., Otto, T., Streiter, R.: “Anordnung zum Aufbau einer Solarzelle für polykristalline /
amorphe Halbleiter”, Prüfungsantrag Az. 198 30 088.3
Wissenschaftliche Vorträge:
Dötzel, W.; Geßner, T.; Fujita, H.; Collard, D.: “Microactuators for Scanning and other
applications” Proceedings of the actuators ‘98, p.27, Bremen 1998, ISBN -3 - 933339 - 00 - 6
Kränert, J.; Deter, C.; Geßner, T.; Dötzel, W.: “Laser Display Technology” MEMS 98, Heidelberg,
p. 99, ISBN 0 - 7803 - 4412 - X
Schulz, S.E.; Bertz, A.; Streiter, R.; Uhlig, M.; Weiss, U.; Werner, T.; Winkler, T.; Geßner,
T.: “Fluoropolymer and aerogel thin films as low k dielectrics in IC metallization”, Invited talk
presented at the 1998 International Conference on “Solid State Devices and Materials”, Hiroshima,
Japan, Sept. 7-10 1998; Ext. Abstract Vol. by The Japan Society of Applied Physics, p.
264/265., ISBN 4-930813-88-3
Opto- und Festkörperelektronik
Univ.-Prof. Dr. Christian Radehaus
Wissenschaftliche Veröffentlichungen:
Neubert, R.; Wolfrum, G.; Otto, T.; Radehaus, C.: Measurement of Remmision by Spectral
Modulation of Light Emitting Diodes. Journal of the University of Applied Sciences Mittweida,
IWKM‘98, November 98, Mittweida (ISSN 1430-3698)
Wolfrum, G.; Neubert, R.; Otto, T.; Radehaus, C.: Optical Waveguide Analysis for Colour
Measurement. Journal of the University of Applied Sciences Mittweida, IWKM‘98, November 98,
Mittweida (ISSN 1430-3698)
Neubert, R.; Otto, T.; Pohl, S.; Radehaus, C.; Wolfrum, G.: Verfahren zur Rekonstruktion von
Meßkurven aus integralen Meßdaten. Patent DE 1984398703, 1998, München
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