pdf, 2.2 Mb - Walther Meißner Institut - Bayerische Akademie der ...

4.2 Charakterisierung der Schichtsysteme 31gewählt und eingestellt werden. An der zum Elektronenstrahlverdampfer gehörendenSchaltungselektronik wurde sodann die gewünschte Schichtdicke (Co 15 nm, Ni 15 nmund Au 30 nm) und die Hochspannung von 8,5 kV eingestellt. Der Emissionsstromwurde langsam in Schritten von 1 mA pro 2 s hochgefahren, bis das zu verdampfendeMaterial geschmolzen und eine konstante Verdampfungsrate von 1,5 Å/sec erreichtwar. Danach wurde der Shutter geöffnet und der dünne Film aufgedampft. War diezuvor eingestellte Schichtdicke erreicht, schloss der Shutter wieder, um die Probe vorweiterer Bedampfung zu schützen. Nach Abkühlung der Anlage (ca. 15 min) konntedie Probe entnommen werden.4.2 Charakterisierung der SchichtsystemeIm Folgenden wird die Auswertung auf die Co/Ni-Schichtsysteme bezogen. Auf Probenmit Fe 3 O 4 oder Co 2 MnSi wird in Kapitel 7 näher eingegangen.4.2.1 RöntgendiffraktometrieUm die kristalline Qualität der gewachsenen Vielschichtsysteme zu untersuchen, wurdenwie bereits in Kapitel 3.3 beschrieben ein ω − 2θ- Scan in einem Winkelbereichvon 10° bis 130° aufgenommen. In Abbildung 4.2 ist ein Scan einer Probe mit derSchichtreihenfolge TiN/Co/ZnO(100 nm)/Ni/Au dargestellt. Als erstes erkennt mansofort die zwei markanten (0006)- und (000 12)- Reflexe des Al 2 O 3 -Substrats. Diesebeiden Reflexe sind aufgrund der hohen kristallinen Qualität des Substrats besondersintensitätsstark. Zwischen den beiden großen Reflexen ist auch noch der um etwa dreiGrößenordungen schwächere (0009)-Reflex von Al 2 O 3 zu sehen, der eigentlich wegender Kristallsymmetrie verboten ist. Aufgrund von Kristallimperfektionen ist er dennocherkennbar. Alle anderen Reflexe konnten mit Hilfe der Kristalldatenbank AmericanMineralogist Crystal Structure Database“ [38] den in der Probe vorkommenden”Filme zugeordnet werden. Die Reflexe von Nickel und Cobalt (Ni(111)/Co(0002) undNi(222)/Co(0004)) fallen aufgrund ihrer ähnlichen Gitterkonstante aufeinander. Daauch bei näherer Vergrößerung keine weiteren Reflexe bis auf die in der Probe vorhandenenFilme zu sehen waren, kann man davon ausgehen, dass keine Fremdphasen