pdf, 2.2 Mb - Walther Meißner Institut - Bayerische Akademie der ...

Kapitel 5Strukturierung der GMR-KontakteNach der strukturellen und magnetischen Untersuchung wurden aus den Schichtsystemendurch optische Lithographie, Ionenstrahlätzen, Sputtern und Lift-Off-Prozessen,GMR-Bauteile als vertikale Mesa-Strukturen in Türmchengeometrie hergestellt. Vordem eigentlichen Strukturierungsprozess wurden die 5 x 5 mm 2 großen Proben in viergleichgroße Quadrate mit einem Diamantsägeblatt gesägt. Dies hat den Vorteil, dassbei eventuell auftretenden Fehlern beim Strukturieren immer noch ein Teil der Probevorhanden ist. Abbildung 5.1 zeigt eine schematische Darstellung der in dieser Arbeitrealisierten Kontakte. Um die Abhängigkeit des MR-Effekts von der Kontaktflächeuntersuchen zu können, wurden dazu verschiedengroße Kontakte mit quadratischenFlächen von 100 µm 2 , 225 µm 2 und 400 µm 2 gefertigt.AuAuSiO 2FerromagnetZnOFerromagnetSiO 2TiNAl 2 O 3 (0001) SubstratAbbildung 5.1: Schematische Darstellung eines GMR-Kontakts.39