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Untersuchungen der Strukturstabilität von Ni-(Fe) - JUWEL ...

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Literaturübersicht<br />

Abbildung 2.17: Signalerzeugung bei Bestrahlung<br />

einer dünnen Probe mit<br />

hochenergetischen Elektronen<br />

[2.6.1, 2.6.2, 2.6.3, 2.6.4]<br />

- Dickenunterschiede <strong>der</strong> TEM-Probe<br />

- elastische und inelastische Streuung<br />

<strong>der</strong> Elektronen an Defekten<br />

(<strong>Fe</strong>hlstellen, Versetzungen,<br />

Stapelfehler usw.) Korngrenzen,<br />

Domänenwänden [2.6.3].<br />

- Elementunterschiede<br />

Bei <strong>der</strong> konventionellen<br />

Hellfeldabbildungstechnik (HF; Bright<br />

Field, BF) wird eine zentrierte<br />

Objektivaperturblende verwendet, <strong>der</strong>en<br />

Durchmesser so klein ist, dass nur <strong>der</strong><br />

Primärstrahl durchgelassen wird und die<br />

gebeugten Elektronen ausgefiltert<br />

werden.<br />

Die Intensitäten des Primärstrahls und <strong>der</strong> gebeugten Strahlen hängen <strong>von</strong> <strong>der</strong> lokalen Dicke<br />

<strong>der</strong> Probe und <strong>der</strong> Orientierung des Kristallgitters relativ zur Elektronen-Einfallsrichtung ab.<br />

Die Orientierung bestimmt dabei den Anregungsfehler. Bei einer leicht gewölbten<br />

Kristallfolie än<strong>der</strong>t sich die Orientierung kontinuierlich. Ist das Kristallgitter an einer Stelle so<br />

ausgerichtet, dass die Bragg-Bedingung für die (hkl)-Netzebenenschar erfüllt ist, so erscheint<br />

diese Stelle im HF-Bild dunkler als die Umgebung. Die Elektronen werden dort gebeugt und<br />

<strong>von</strong> <strong>der</strong> Objektivblende ausgefiltert. Wenn die Objektivblende um einen Beugungsreflex<br />

zentriert wird und damit <strong>der</strong> Primärstrahl herausgefiltert wird, ersteht eine<br />

Dunkelfeldabbildung (DF).<br />

Mo<strong>der</strong>ne TEMs ermöglichen neben <strong>der</strong> Abbildung kleinster Details im nm-Bereich auch die<br />

Aufnahme <strong>von</strong> Beugungsdiagrammen. Durch die Kombination dieser Geräte mit<br />

Energiedispersive Spektrometern und Elektronen-Energieverlust-Spektrometern wird eine<br />

Erweiterung <strong>der</strong> verfügbaren Probeninformation erreicht [2.6.4, 2.6.5].<br />

2.6.2 Elektronenenergieverlustspektroskopie<br />

Bewegen sich schnelle Strahlelektronen <strong>der</strong> Primärenergie E0 durch ein Objekt, so können sie<br />

einen Teil ∆E ihrer Energie und ihres Impulses aufgrund <strong>der</strong> Coulombwechselwirkung mit<br />

den geladenen Teilchen des Objektes abgeben. Die Elektronenenergieverlustspektroskopie<br />

(engl. EELS <strong>von</strong> Electron Energy Loss Spectroscopy) basiert auf dem Effekt.<br />

Alle Wechselwirkungen <strong>der</strong> Elektronen mit <strong>der</strong> Probe, die zu einem Energieverlust führen,<br />

finden sich als Intensitätsverteilung im Spektrum wie<strong>der</strong>. Ein Spektrum besteht aus<br />

(Abbildung 2.18):<br />

- Nullverlustbereich: (engl. zero-loss region). Da die Proben sehr dünn sind, gelangt eine<br />

Vielzahl <strong>von</strong> Elektronen ohne jegliche inelastische Wechselwirkung durch die Probe.<br />

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