MEMOIRE MAGISTER - Université Ferhat Abbas de Sétif

Chapitre I : propriétés de ZnO
Fig.1.3. Images MEB des films minces ZnO pur et de ZnO: AL dopé à 5% recuits à
différentes températures (de 450 à 850 ) (la longueur de la tâche blanche représente
500nm) [4].
Il a montré que les couches ont une morphologie granulaire dont les grains sont très
petits et nanométriques. Avec l’augmentation de la température de recuit, la taille des grains
subit une transformation remarquable. A la température de recuit 450 , le film contient des
grains homogènes et la taille des grains est de 50 et 20 nm pour le ZnO pur et le ZnO:Al (5%),
respectivement. Avec l’augmentation de la température, les grains deviennent larges et la
structure devient dense.
‣ AFM :
J.F.Chang [25] a étudié l’effet de l’épaisseur des couches de ZnO:Al sur leurs morphologies
(Figure 1.4). Il a constaté que la forme des couches est granulée. Cependant, il y a une grande
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