MEMOIRE MAGISTER - Université Ferhat Abbas de Sétif

Chapitre VI : Caractérisation structurale, morphologiques, optiques et électriques des
couches minces élaborées
Conclusion
Le dopage avec une concentration inférieure à 3 % améliore la cristallinité et le
dopage avec les concentrations supérieures détruit la cristallinité. De même, l’augmentation
de la température améliore la cristallinité et fait apparaître les pics d’Aluminium dont
l’intensité croit avec l’augmentation de la concentration. Cependant pour une concentration de
5%, on ne détecte pas ces pics à cause de la destruction de la cristallinité.
IV.1.3. Caractérisation par microscopie électronique à balayage (MEB)
La figure 4.11 montre une image MEB pour une couche mince de ZnO:Al (5%).
Cette image indique que les couches sont de structure granulaire dense et uniforme dont les
grains sont très petits et nanométriques.
Fig.4.11. Image MEB d’un film de ZnO dopé Al à 5%.
IV.1.4. Composition chimique
La caractérisation structurale des matériaux permet d’identifier les phases qui y sont
présentes, de déterminer leur degré de cristallinité, de mettre en évidence leur morphologie et
d’établir leur composition chimique. La composition chimique nous permet de connaître avec
exactitude le pourcentage du dopant dans notre matériau. Dans notre cas on a étudié la
composition chimique pour les films dopés avec 2%, 3% et 4% atomes d’aluminium tel que
montre la figure 4.12 (a, b et c) :
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