MEMOIRE MAGISTER - Université Ferhat Abbas de Sétif

Chapitre VI : Caractérisation structurale, morphologiques, optiques et électriques des
couches minces élaborées
(c)
Fig.4.12. Composition chimique des films de ZnO dopés Al :
(a) à 2%, (b) à 3% et (c) à 4%.
Le diagramme EDX montre que les concentrations massiques sont de 1,9%, 2,88% et
4%, pour les échantillons dopés respectivement avec 2%, 3% et 4%. Les écarts entre les
concentrations (2 et 1,9%), (3 et 2,88%) sont dues au fait que les réactions chimiques ne sont
pas complètes. Les autres éléments (Na, Mg, Al, Si, Ca et une quantité d’O) sont les
constituants du substrat et le carbone est présent dans la chambre d’analyse du MEB.
IV.1.5. Microscopie à force atomique (AFM)
Cette technique de mesure permet également de visualiser la surface des couches de
ZnO, mais de manière quantitative. C’est-à-dire que l’on peut obtenir la valeur moyenne rms
(Root Mean Square) de la rugosité de surface de ces couches. Cette valeur rms est en fait la
moyenne géométrique des hauteurs de tous les points de la surface balayée par le microscope.
La figure 4.13 montre des images AFM en 2D et les mesures de la rugosité des
couches d’oxyde ZnO dopé Aluminium déposées sur des substrats en verre.
57