MEMOIRE MAGISTER - Université Ferhat Abbas de Sétif

Chapitre III : Elaboration des échantillons et techniques de caractérisation utilisées
III.2. Techniques de caractérisation des couches minces
L’identification des matériaux nécessite des moyens de caractérisations, nous citons
dans ce qui suit un aperçu des techniques utilisées pour caractériser nos couches minces de
ZnO.
III.2.1. Diffractométrie des rayons X (DRX) [14,31]
• Principe :
La diffraction des rayons X est une méthode de caractérisation structurale dans le
domaine des matériaux. Cette méthode de caractérisation ne s’applique qu’aux matériaux
cristallisés (mono ou polycristallins). Cette étude a pour but de préciser la structure des
couches (s’assurer de la formation de ZnO et de la présence du dopant), de mesurer les
paramètres de maille et la taille des cristallites. Elle doit aussi permettre d’examiner l’état de
contrainte des dépôts. Le principe repose sur la diffraction des rayons X monochromatiques
par les plans atomiques des cristaux du matériau étudié (Figure 3.4).
Rayons x
P 1
A
C
B
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Fig.3.4. Schéma représentant le principe de la diffraction des rayons X par les plans
réticulaire d’indice h, k et l [14]
• Diffractomètre RX :
Le dispositif expérimental de la DRX est représenté sur la figure (3.5). Il comprend :
- Un tube à rayons X monochromatique, le porte échantillon et le détecteur des photons
X.
- Un cercle goniométrique sur lequel se déplace le détecteur des rayons X et un cercle
de focalisation sur lequel le rayonnement diffusé est concentré avant la détection.
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