MEMOIRE MAGISTER - Université Ferhat Abbas de Sétif

Chapitre III : Elaboration des échantillons et techniques de caractérisation utilisées
au MEB comme la morphologie de la surface par une vue 3D et aussi la rugosité de la surface
analysée.
Le mode de fonctionnement du microscope à force atomique repose essentiellement
sur le balayage ou le frottement de la surface de l’échantillon par une pointe fixée sur le bras
d’un levier flexible. Le système pointe-levier peut être déplacé suivant les directions X, Y et
Z. Sous l’action de forces de types Van der Waals, électrostatique, magnétique, chimique, etc.
le levier peut être défléchi. Afin de mesurer la déflection du levier, une diode laser est utilisée.
Le faisceau laser émergeant de la diode est focalisé sur l’extrémité du levier puis il est réfléchi
vers le photodetecteur. De ce fait, la déflection du levier provoque un déplacement du
faisceau réfléchi.
III.2.4. Mesure de l’épaisseur (Profil mètre) [61,68]
Dans notre cas, les mesures d’épaisseurs des couches minces élaborées ont été menées
au moyen d’un profilomètre mécanique Dektak 150 à l’université de Bejaia (laboratoire de
génie de l’environnement). L’appareil est constitué d’une aiguille stylet avec une pointe
diamant qui se déplace horizontalement sur la surface de l’échantillon ce qui permet
l’enregistrement du profil. La mesure de l’épaisseur par cette méthode nécessite la réalisation
d’une marche sur l’échantillon, entre une zone recouverte pendant le dépôt et une autre non
recouverte. Cette marche est obtenue grâce à un cache placé sur une extrémité du substrat. Le
repérage sur la surface est assuré par une camera fixée sur le dispositif de pointage.
Un ordinateur relié à l’appareil est équipé d’un logiciel permettant ainsi la mesure des
variations de hauteur et d’afficher ces dernières sous forme d’un profilogramme.
Ce dispositif permet aussi d’analyser la rugosité de surface (variation de l’épaisseur de la
couche déposée).
Fig.3.8.Principe de mesure d’une épaisseur par profilomètre
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