NSC95-EPA-Z-033-002

將 點 火 方 式 改 為 內 壁 式 , 燃 燒 室 內 透 過 一 環 形 陶 瓷 套 管 將 處 理 廢 氣 與 燃 料 分 隔 開 , 藉由 陶 瓷 蓄 熱 ( 800~1,100℃ ) 來 達 到 破 壞 PFCs 之 效 果 , 為 一 非 火 焰 燃 燒 ( flameless ) 之 熱處 理 設 備 , 如 圖 2-2 所 示 【15】。除 了 採 用 燃 料 燃 燒 方 式 產 生 高 溫 外 , 亦 有 學 者 發 展 電 熱 式 系 統 , 同 樣 可 以 達 到 高溫 削 減 PFCs 之 目 的 , 例 如 ATMI 所 生 產 之 熱 控 制 裂 解 / 氧 化 反 應 器 ( ControlledDecomposition/Oxidation Reactor,CDO ) 即 是 此 種 型 式 ; 經 熱 處 理 後 之 氣 體 降 低 至 室溫 後 同 樣 進 入 一 洗 滌 塔 去 除 酸 性 氣 體 及 微 粒 , 對 於 PFCs 之 削 減 亦 有 良 好 之 效 果 【27】。但 是 , 利 用 燃 燒 處 理 PFCs 之 方 式 在 實 廠 操 作 上 仍 存 在 一 些 問 題 , 如 果 有 微 粒 附著 於 燃 燒 室 壁 面 , 將 導 致 系 統 中 熱 傳 導 效 率 的 下 降 , 故 應 進 一 步 研 究 如 何 有 效 控 制 處理 過 程 所 產 生 之 細 小 微 粒 ,【28】; 此 外 , 雖 然 熱 處 理 系 統 後 皆 設 有 濕 式 洗 滌 裝 置 ,但 含 氟 之 酸 性 氣 體 對 於 燃 燒 室 造 成 之 腐 蝕 問 題 仍 無 可 避 免 , 因 而 增 加 系 統 維 護 上 的 困難 。圖 2-2BOC Edward 發 展 之 TPU 系 統( 圖 左 為 燃 燒 室 , 圖 右 為 其 結 構 之 細 部 說 明 )14