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Annual Conference, Kenting, Taiwan (2001)【25】 余 榮 彬 “ 台 灣 半 導 體 業 溫 室 氣 體 全 氟 化 物 排 放 減 量 ”, 半 導 體 科 技 雜 誌 , 第 13期 , 第 73 頁【26】 Worth, W. F.“Reducing PFC Emissions : A Tech Update”, Future FabInternational, Environmental/Health and Safety, 57 (2000)【27】Flippo, B. G. and Jones, R. F.“Abatement of Fluorine Emissions Utilizing an ATMICDO Model 863 with Stream Injection”, Proc. 8 th Intl. ESH Conf. SemiconductorIndustry (2001)【28】 周 崇 光 “ 積 體 電 路 製 程 尾 氣 控 制 技 術 之 應 用 與 發 展 ”, 產 業 環 保 工 程 實 務 技 術研 討 會 (2000)【29】 方 永 生 “ 表 面 微 波 電 漿 技 術 應 用 於 全 氟 化 物 削 減 之 研 究 與 反 應 機 制 分 析 ”, 私立 中 原 大 學 碩 士 論 文41

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