NSC95-EPA-Z-033-002
NSC95-EPA-Z-033-002
NSC95-EPA-Z-033-002
- No tags were found...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Annual Conference, Kenting, Taiwan (2001)【25】 余 榮 彬 “ 台 灣 半 導 體 業 溫 室 氣 體 全 氟 化 物 排 放 減 量 ”, 半 導 體 科 技 雜 誌 , 第 13期 , 第 73 頁【26】 Worth, W. F.“Reducing PFC Emissions : A Tech Update”, Future FabInternational, Environmental/Health and Safety, 57 (2000)【27】Flippo, B. G. and Jones, R. F.“Abatement of Fluorine Emissions Utilizing an ATMICDO Model 863 with Stream Injection”, Proc. 8 th Intl. ESH Conf. SemiconductorIndustry (2001)【28】 周 崇 光 “ 積 體 電 路 製 程 尾 氣 控 制 技 術 之 應 用 與 發 展 ”, 產 業 環 保 工 程 實 務 技 術研 討 會 (2000)【29】 方 永 生 “ 表 面 微 波 電 漿 技 術 應 用 於 全 氟 化 物 削 減 之 研 究 與 反 應 機 制 分 析 ”, 私立 中 原 大 學 碩 士 論 文41