NSC95-EPA-Z-033-002

第 三 章 研 究 方 法本 計 劃 利 用 高 溫 微 波 電 漿 火 炬 對 四 氟 甲 烷 與 六 氟 化 硫 進 行 重 組 進 而 達 到 削 減 的效 果 , 實 驗 中 改 變 微 波 功 率 、 氧 氣 添 加 量 、 載 氣 ( 氮 氣 ) 流 量 等 操 作 操 數 , 探 討 其 對 兩種 不 同 的 全 氟 化 物 轉 化 率 以 及 產 物 選 擇 性 之 影 響 。 最 後 建 立 一 熱 力 學 模 型 與 實 驗 結 果相 比 較 , 藉 以 預 估 反 應 器 內 部 之 溫 度 及 不 同 平 衡 狀 態 下 對 產 物 組 成 之 影 響 。3-1 實 驗 設 備本 實 驗 所 使 用 微 波 電 漿 火 炬 系 統 , 並 連 結 PECVD 系 統 模 擬 半 導 體 廠 之 電 漿 蝕刻 程 序 , 其 裝 置 如 圖 3-1 所 示 , 系 統 主 包 括 四 個 部 份 :(1) 氣 體 供 應 系 統 (2) 參 數 控 制系 統 (3) 微 波 電 漿 火 炬 系 統 (4) 產 物 分 析 系 統圖 3-1PECVD 與 微 波 電 漿 火 炬 系 統17