NSC95-EPA-Z-033-002

化 的 效 果 並 沒 有 顯 著 的 幫 助 。 產 物 分 析 部 份 , 添 加 較 多 的 O 2 會 使 COF 2 、CO 2 、CO三 者 間 於 較 低 的 平 衡 溫 度 即 進 行 轉 換 。7. 利 用 PECVD 進 行 SF 6 之 轉 化 效 果 非 常 差 , 主 要 由 於 SF x 自 由 基 間 的 碰 撞 導 致 再 結合 反 應 的 發 生 , 因 而 使 轉 化 效 果 不 佳 ; 當 加 入 Si 晶 片 後 ,F 自 由 基 可 與 Si 反 應 生成 SiF 4 , 抑 制 再 結 合 反 應 。8. PECVD 模 擬 蝕 刻 產 物 由 電 漿 火 炬 進 行 削 減 程 序 , 可 藉 由 提 高 微 波 電 漿 功 率 而 使整 體 轉 化 效 果 達 90% 以 上 ;PECVD 連 接 電 漿 火 炬 轉 化 效 果 較 純 使 用 電 漿 火 炬 效果 差 , 主 要 由 於 載 氣 流 量 影 響 所 導 致 。5-2 建 議建 議 事 項方 法 及 原 因降 低 載 氣 流 量 可 使 反 應 腔 體 溫 度 較 高 ,反 應 氣 體 滯 留 於 高 溫 區 之 時 間 增 長 , 藉降 低 載 氣 流 量 , 藉 以 提 高 提 高 全 氟 物 種濃 度以 提 高 轉 化 效 果 。 本 研 究 無 法 將 載 氣 降至 太 低 , 主 要 由 於 腔 體 密 閉 之 O 環 耐 熱程 度 所 限 制 ; 若 使 用 一 體 成 型 之 腔 體 則不 需 使 用 O 環 , 因 此 可 降 低 載 氣 流 量 至較 低 。由 於 本 研 究 進 行 全 氟 化 物 之 處 理 ,CF 4 與反 應 器 改 用 其 他 材 質 , 如 氧 化 鋁 管 、 陶瓷 管SF 6 經 由 電 漿 解 離 所 生 成 的 F 會 對 石 英 玻璃 (SiO 2 ) 造 成 蝕 刻 作 用 ; 若 改 用 氧 化 鋁 或陶 瓷 材 料 之 反 應 器 則 不 會 發 生 蝕 刻 反應 , 可 省 去 需 定 時 更 換 反 應 器 之 步 驟 。37