NSC95-EPA-Z-033-002
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3-1-5 產 物 分 析 系 統本 計 畫 主 要 的 產 物 分 析 系 統 為 傅 立 葉 轉 換 紅 外 線 光 譜 儀 (Fourier transforminfrared spectrometer,FTIR), 兩 種 全 氟 化 物 電 漿 處 理 前 與 處 理 後 的 圖 譜 分 別 如 圖 3-4所 示 , 各 物 種 吸 收 峰 中 心 則 如 表 一 所 示 。Absorbance1.21.00.80.60.40.2CF 4 (50 sccm)0.0500 1000 1500 2000 2500 3000Wavenumber (cm -1 )圖 (3-4a) 電 漿 處 理 前 CF 4 之 圖 譜0.25Absorbance0.200.150.100.05CO 2COF 2SiF 4CF 4NO 2COF 2CO 20.00500 1000 1500 2000 2500 3000Wavenumber (cm -1 )圖 (3-4b) CF 4 電 漿 處 理 後 產 物 分 佈 圖 譜20
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