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圖 目 錄圖 2-1圖 2-2圖 3-1圖 3-2PFCs 於 低 溫 下 之 回 收 處 理 流 程 ………………………………………………..12BOC Edward 發 展 之 TPU 系 統 …………………………………………..…….14PECVD 與 微 波 電 漿 火 炬 系 統 ……………………………………………...…17PECVD 設 備 實 體 圖 ……………………………………………………………..18圖 3-3 電 漿 火 炬 設 備 實 體 圖 ……………………………………………………………..18圖 3-4 全 氟 化 物 於 電 漿 前 / 後 之 FTIR 圖 譜 ………………………………………….20~21圖 4-1 載 氣 流 量 、 微 波 功 率 對 CF 4 轉 化 率 之 影 響 (CF 4 /O 2 =50/50 sccm)……………….25圖 4-2 微 波 功 率 對 產 物 生 成 之 影 響 (N2=20slm, CF 4 /O 2 =50/50 sccm)………………..25圖 4-3 電 漿 功 率 對 碳 平 衡 之 影 響 (N 2 =20 slm, CF 4 /O 2 =50/50 sccm)………………..26圖 4-4 氧 氣 進 料 流 量 對 CF 4 轉 化 率 之 影 響(N 2 =20 slm, CF 4 =50 sccm, Power=1200 W)……………………………………...27圖 4-5 氧 氣 進 料 流 量 對 產 物 生 成 之 影 響(N 2 =20 slm, CF 4 =50 sccm, Power=1200 W)……………………………………...27圖 4-6 氧 氣 進 料 與 微 波 功 率 對 SF 6 轉 化 之 影 響 ………………………………………...29圖 4-7 微 波 功 率 對 產 物 生 成 之 影 響 (N 2 =20 slm, SF 6 =50 sccm)……………………....29圖 4-8CF 4 轉 化 實 驗 值 與 模 擬 值 之 比 較(N 2 =20 slm, CF 4 /O 2 =50/50 sccm)…………………………………………………30圖 4-9 平 衡 溫 度 對 產 物 生 成 之 影 響(N 2 =20 slm, CF 4 /O 2 =50/50 sccm)…………………………………………………31圖 4-10 改 變 O 2 流 量 對 轉 化 率 之 影 響 (N 2 =20 slm, CF 4 =50 sccm, T=1600 K)………..32圖 4-11 改 變 O 2 流 量 對 產 物 生 成 之 影 響 (N 2 =20 slm, CF 4 =50 sccm, T=1600 K)……..32圖 4-12 電 漿 前 / 後 圖 譜 ( PECVD = 200 W, pressure = 350 mTorr )…………………33圖 4-13PECVD 加 入 矽 晶 片 與 PECVD 連 接 Torch 之 FTIR 圖 譜(N 2 =35 slm, SF 6 =50 sccm , Torch 系 統 加 入 50 sccm O 2 )……………………….34VI