NSC95-EPA-Z-033-002
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FTIR 對 於 同 核 雙 原 子 分 子 (O 2 、H 2 等 ) 無將 FTIR 搭 配 GC 使 用 , 藉 以 有 效 鑑 定產 物 並 進 行 分 析法 進 行 量 測 , 且 當 吸 收 峰 交 錯 時 , 對 產物 分 析 與 鑑 定 較 為 困 難 , 若 採 用 GC 或 其他 氣 體 分 析 設 備 , 可 使 定 量 與 鑑 定 物 種較 為 精 確 。加 裝 乾 式 或 濕 式 scrubber本 研 究 之 產 物 包 括 COF 2 、NO 2 與 SO x F y物 種 , 加 裝 scrubber 預 估 可 去 除 部 分 產物 , 藉 以 使 電 漿 重 組 後 之 產 物 單 一 化 。38
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