NSC95-EPA-Z-033-002

Mole Fraction0.00250.00200.00150.0010CO 2COCOF 2NONO 20.00050.0000500 1000 1500 2000 2500 3000Temperature (K)( 圖 4-9 ) 平 衡 溫 度 對 產 物 生 成 之 影 響(N 2 =20 slm, CF 4 /O 2 =50/50 sccm)4-5 電 腦 模 擬 — 氧 氣 進 料 流 量 對 四 氟 甲 烷 轉 化 之 影 響O 2 進 料 流 量 對 CF 4 轉 化 之 影 響 如 圖 4-10 所 示 , 模 擬 固 定 氮 氣 為 20 slm,CF 4 20sccm, 並 固 定 平 衡 溫 度 為 1600 K, 研 究 氧 氣 流 量 對 轉 化 效 果 之 影 響 ; 研 究 發 現 當 CF 4與 O 2 的 比 例 小 於 1:1 時 ,CF 4 轉 化 率 隨 O 2 的 增 加 而 上 升 ; 當 CF 4 與 O 2 的 比 例 達 1:1後 , 添 加 額 外 的 O 2 對 CF 4 的 轉 化 效 果 並 沒 有 顯 著 的 影 響 , 與 圖 六 實 驗 結 果 相 比 較 ,兩 者 結 果 皆 顯 示 出 當 CF 4 與 O 2 的 比 例 為 1:1 時 即 可 提 供 足 夠 的 O 原 子 與 CF x 自 由 基進 行 反 應 達 到 一 定 之 轉 化 效 果 。由 於 NO 與 NO 2 於 本 研 究 中 可 能 未 達 熱 力 平 衡 , 因 此 以 下 之 模 擬 並 不 討 論 此 兩種 物 質 之 影 響 ; 圖 4-11 為 控 制 平 衡 溫 度 為 1600 K, 將 圖 4-9 與 圖 4-11 進 行 比 較 可 發現 , 當 添 加 較 多 O 2 會 使 COF 2 、CO 2 、CO 三 者 間 的 轉 化 傾 向 發 生 於 較 低 之 平 衡 溫 度 ,且 生 成 較 多 CO 2 。31