NSC95-EPA-Z-033-002

表 3-1 各 氣 體 分 子 之 紅 外 光 譜 吸 收 中 心 (* 為 定 量 分 析 時 所 選 用 的 吸 收 峰 )氣 體 分 子 吸 收 峰 中 心 (cm -1 ) 氣 體 分 子 吸 收 峰 中 心 (cm -1 )CF 4 1283*,632CO 2 3733,3630,2364*,2340,667COF 2 1929*,1255,774,972NO 2 1602,1630*,2918SiF 4 1028*SF 6 944*,614SO 2 1376,1360*,1344SOF 2 1340,1330,820*,808SO 2 F 2 1503*,1270,8483-1-6 轉 化 率 計 算 之 公 式DREjFCIj,outj,outj,on 11 1(3-1)Fj,inCj,inIj,off其 中 ,F j : 物 種 j 之 流 量C j : 物 種 j 之 濃 度I j : FTIR 光 譜 中 物 種 j 之 吸 收 強 度on : 電 漿 開 啟off : 電 漿 關 閉3-2 氧 氣 / 四 氟 甲 烷 之 熱 力 學 模 型由 於 高 溫 電 漿 之 氣 體 溫 度 較 高 , 反 應 易 到 達 熱 力 學 平 衡 , 因 此 本 研 究 利 用Chemkin IV 套 裝 軟 體 中 的 Equilibrium ( 平 衡 ) 模 組 , 在 定 溫 定 壓 時 計 算 某 一 進 料 組 成達 到 化 學 反 應 平 衡 時 之 出 口 物 種 濃 度 分 佈 , 此 時 系 統 之 Total Gibbs Free Energy( 如 式3-2 所 示 ) 達 最 低 點 , 即 系 統 到 達 熱 力 學 平 衡 狀 態 。 本 研 究 首 先 建 立 各 反 應 物 種 之 熱 力學 性 質 , 包 含 C p (Heat capacity)、H(Enthalpy)、S(Entropy)【NASA,website】, 給 予 初始 氣 體 之 組 成 ( 包 括 氮 氣 、 氧 氣 、 四 氟 甲 烷 ), 固 定 壓 力 , 利 用 Chemkin IV 套 裝 軟 體可 計 算 出 於 不 同 溫 度 熱 力 學 平 衡 狀 態 下 之 各 物 種 濃 度 。 本 模 擬 系 統 的 計 算 理 論 如 式3-2 至 3-4 所 示 , 反 應 所 考 慮 的 物 種 則 如 表 二 所 示 。22