NSC95-EPA-Z-033-002

參 考 文 獻【1】 余 榮 彬 ,“ 台 灣 半 導 體 業 溫 室 氣 體 全 氟 化 物 排 放 減 量 ”, 半 導 體 科 技 雜 誌 ,No.13,p.73,(January, 2001).【2】 Andrew D.Johnson, Wilian R. Entley, and Peter J. Maroulis, “ 化 學 氣 相 沉 積(CVD) 反 應 腔 的 清 洗 對 降 低 全 氟 化 物 (PFC) 氣 體 的 排 放 ”, 半 導 體 科 技 雜 誌 ,No.14, p.103,(March, 2001).【3】 J. Langan, P. Maroulis, R. Ridgeway, Solid State Technology, p. 115, July 1996.【4】 L. Beu, P.T. Brown, Electrochem. Soc. Proc., Vol. 99-8, p. 1, 1999.【5】 Zurer, Am. Chem. Soc. C&EN, 2000.【6】 A. R. Ravishankara, S. Solomon, A. A. Turnipseed, and R. F. Warren, Science, Vol.259, p. 194, 1993.【7】 T. Gierczak, R. Talukdar, G. L. Vaghjiani, E. R. Lovejoy, and A. R. Ravishankara,J. Geophys. Res., Vol. 96, no. D3, p. 5001, 1991.【8】 J. J. Orlando, J. B. Burkholder, S. A. McKeen, and A. R. Ravishankara, J. Geophys.Res., Vol. 96, no. D3, p. 5013, 1991.【9】 P.J. Maroulis, et al., Semiconductor International, p.107, 1994.【10】 粱 立 緯 ,“ 以 高 溫 電 漿 火 炬 轉 化 甲 烷 與 二 氧 化 碳 ”, 私 立 中 原 大 學 碩 士 論 文【11】 Mocella, M. T. “Environmental Issue in Plasma Processing : A Review ofTechnologies for PFC Emission Control”, Semicon Europa (1997)【12】Hartz, C. L., Bevaan, J. W., Jackson, M. W. and Wofford, B. A.“Innovative SurfaceWave Plasma Reactor Technique for PFC Abatement”, Environ. Sci. Technol. 32,682 (1998)【13】 Babushok, V. Noto, T., Burgess, D. R. F., Hamins, A. and Tsang, W.“Inference ofCF 3 I, CF 3 Br on the High-Temperature Combustion of Methane”, Combust.Flames 107, 351 (1996)【14】 Linteris, G. T. and Truett, L.“Inhibition of Premixed Methane-Air Flames byFluoromethanes”, Combust. Flames 105, 15 (1996)39