NSC95-EPA-Z-033-002

抽 至 電 漿 火 炬 系 統 進 行 處 理 ,dry pump 所 使 用 之 氮 氣 流 量 為 35 slm, 較 單 純 利 用 電漿 火 炬 所 使 用 之 20 slm 氮 氣 高 許 多 ; 由 圖 4-1 可 發 現 載 氣 流 量 亦 會 影 響 轉 化 效 果 ,主 要 因 素 為 較 高 載 氣 流 量 會 導 致 電 漿 火 炬 反 應 器 之 溫 度 下 降 , 且 反 應 氣 體 滯 留 於 電 漿高 溫 區 之 滯 留 時 間 縮 短 , 進 而 使 轉 化 果 下 降 。表 4-1PECVD 模 擬 不 同 操 作 參 數 下 之 結 果Operating Condition SF6 Conversion (%)PECVD (200W) 2.82PECVD 200W, with Si wafer(1/2*6”) 11.63PECVD 200W, with Si wafer(1*6”) 15.67PECVD + MW Torch ( 800 W, no O 2 ) 24.23PECVD + Torch ( 800 W, O 2 = 50 sccm ) 45.51PECVD + Torch ( 1000 W, O 2 = 50 sccm ) 52.09PECVD + Torch ( 1200 W, O 2 = 50 sccm ) 64.58PECVD + Torch ( 1400 W, O 2 = 50 sccm ) 73.34PECVD + Torch ( 1800 W, O 2 = 50 sccm ) 90.1435