NSC95-EPA-Z-033-002

2. 尋 求 替 代 化 學 品替 代 化 學 品 是 使 用 具 氧 原 子 , 氫 原 子 或 未 飽 和 碳 氫 鍵 之 氟 碳 化 物 取 代 全 氟 碳 化物 , 其 篩 選 原 則 是 大 氣 壽 命 短 ( 小 於 15 年 ), 不 易 燃 或 不 具 爆 炸 性 。 但 由 於 半 導 體 之電 漿 蝕 刻 製 程 要 求 非 常 嚴 格 , 替 代 化 學 品 要 取 代 現 有 製 程 氣 體 則 極 為 困 難 。3. 破 壞 削 減 技 術破 壞 削 減 技 術 可 分 為 觸 媒 熱 裂 解 、 燃 燒 破 壞 和 電 漿 破 壞 利 用 觸 媒 來 促 進 反 應 的 進 行 ,就 能 源 利 用 率 而 言 是 較 為 經 濟 有 效 , 但 因 大 部 份 的 觸 媒 會 受 到 尾 氣 中 混 雜 的 高 分 子 量化 合 物 和 微 粒 的 被 覆 和 鹵 素 化 學 物 的 毒 害 , 因 此 目 前 並 無 較 可 靠 之 市 售 產 品 。目 前 發 展 較 完 整 的 含 氟 溫 室 氣 體 處 理 技 術 , 莫 過 於 燃 燒 破 壞 法 , 它 是 利 用 燃 料(H 2 和 CH 4 )、 空 氣 或 氧 氣 以 約 1200℃ 的 高 溫 將 低 極 性 之 PFC 轉 換 成 低 分 子 量 且 具 親水 性 之 極 性 化 合 物 , 如 CO、CO 2 、COF 2 、HF 等 , 再 以 水 洗 、 吸 附 等 方 法 去 除 危 害 性尾 氣 。電 漿 為 一 種 部 分 離 子 化 之 氣 體 , 其 利 用 高 能 電 子 破 壞 分 子 鍵 結 , 可 在 低 溫 下 產 生大 量 的 自 由 基 , 現 今 已 廣 泛 應 用 在 半 導 體 製 程 , 工 業 鑽 石 鍍 膜 及 廢 棄 物 處 理 , 近 年 來已 有 若 干 學 者 嘗 試 以 低 溫 電 漿 來 轉 化 , 電 漿 轉 化 的 主 要 優 勢 為 反 應 快 速 。 本 研 究 採 用電 漿 火 炬 , 其 優 點 如 下 :1. 於 常 壓 下 進 行 反 應 , 不 需 使 用 真 空 設 備 , 可 降 低 成 本2. 電 漿 火 炬 產 生 的 高 溫 , 使 反 應 氣 體 除 了 受 到 電 子 碰 撞 解 離 外 , 還 可 進 行 熱 裂 解 反應 提 高 整 體 轉 化 效 果3. 可 較 低 壓 電 漿 處 理 較 大 量 之 氣 體4. 反 應 快 速本 計 劃 將 針 對 CF 4 及 SF 6 兩 種 含 氟 溫 室 氣 體 進 行 電 漿 破 壞 削 減 , 期 望 利 用 電 子 碰撞 解 離 與 高 溫 特 性 達 到 較 高 之 轉 化 效 果 。 另 外 將 使 用 電 腦 模 擬 系 統 進 行 熱 力 學 平 衡 之模 擬 , 與 實 驗 值 進 行 比 較 , 並 評 估 高 溫 電 漿 火 炬 研 究 之 可 行 性 。2